[发明专利]一种高精度石英玻璃激光切割定位方法有效

专利信息
申请号: 201910129793.X 申请日: 2019-02-21
公开(公告)号: CN109704557B 公开(公告)日: 2022-03-04
发明(设计)人: 王军龙;冯巧玲;潘登;李本海;王学锋;李凯;李广 申请(专利权)人: 北京航天控制仪器研究所
主分类号: C03B33/02 分类号: C03B33/02;C03B33/037
代理公司: 中国航天科技专利中心 11009 代理人: 李晶尧
地址: 100854 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 高精度 石英玻璃 激光 切割 定位 方法
【说明书】:

一种高精度石英玻璃激光切割定位方法,涉及石英玻璃切割技术领域;包括如下步骤:步骤一、调整位移台上石英玻璃的竖直方向高度,实现石英玻璃的上表面位于相机的焦距处;步骤二、在石英玻璃的上表面标记中心,将相机的基准原点与石英玻璃的中心对准;步骤三、将石英玻璃平移至切割头下方;切割头进行切割试刀;步骤四、依次对切割试刀划痕进行观察,选取最佳切割划痕;步骤五、测量切割头与相机的相对位置;本发明实现了全自动高效能的激光切割,提高了石英玻璃的切割精度,保证了切割质量,提升了切割工件的产成率。

技术领域

本发明涉及一种石英玻璃切割技术领域,特别是一种高精度石英玻璃激光切割定位方法。

背景技术

石英属于典型的硬脆性材料,具有高可靠性的特点,在航空、航天、航海及地面领域的各种战略/战术武器导航、制导与控制系统中具有广泛的应用。石英挠性加速度计、石英振梁加速度计等均采用精密石英结构作为其关键的敏感单元。石英玻璃是一种典型的惯性传感器用石英器件,具有形状复杂、精度要求高的特点,通常采用超声落料或喷砂等机械磨削的方法进行加工,加工断面粗糙度大,加工效率低。

近年来,随着民用/军用市场的逐步开放,国内外对石英器件的需求不断增大,提高石英玻璃的产成率、产品质量以及生产效率是当前需要解决的关键问题。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的上述不足,提供一种高精度石英玻璃激光切割定位方法,实现了全自动高效能的激光切割,提高了石英玻璃的切割精度,保证了切割质量,提升了切割工件的产成率。

本发明的上述目的是通过如下技术方案予以实现的:

一种高精度石英玻璃激光切割定位方法,包括如下步骤:

步骤一、在位移台上水平固定安装夹紧工装;将石英玻璃放置在工装上表面;夹紧工装夹紧石英玻璃;将位移台移动到相机下方,调整石英玻璃竖直方向高度,实现石英玻璃的上表面位于相机的焦距处;

步骤二、建立位移台坐标系oxyz;在石英玻璃的上表面标记中心,将相机的基准原点与石英玻璃的中心对准;

步骤三、选取石英玻璃的上表面任意一点为定位点,记录石英玻璃定位点在相机视场中的位置;将石英玻璃平移至切割头下方;切割头进行切割试刀;

步骤四、将切割试刀后的石英玻璃的定位点平移至相机视场内的记录位置;等步长移动石英玻璃;依次对切割试刀划痕进行观察,选取最佳切割划痕;

步骤五、测量切割头与相机的相对位置。

在上述的一种高精度石英玻璃激光切割定位方法,所述的步骤一中,当石英玻璃的上表面位于相机的焦距时,石英玻璃的上表面与相机的竖直方向距离为20-30mm。

在上述的一种高精度石英玻璃激光切割定位方法,所述的步骤二中,位移台坐标系oxyz的建立方法为;以位移台中心为坐标原点o;x轴方向指向位移台长度方向;y轴方向指向位移台宽度方向;z轴方向为竖直向下。

在上述的一种高精度石英玻璃激光切割定位方法,所述的步骤二中,将相机的基准原点与石英玻璃的中心对准的方法为:采用步进移动,将石英玻璃中心向相机的基准原点位置移动;每一步依次沿x方向移动石英玻璃△X距离,沿y方向移动石英玻璃△Y距离;直至相机的基准原点与石英玻璃的中心的水平距离小于等于阈值,移动结束。

在上述的一种高精度石英玻璃激光切割定位方法,所述的步骤二中,△X为10μm;△Y为10μm;相机的基准原点与石英玻璃的中心水平距离阈值为100μm。

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