[发明专利]一种无线压力传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种无线压力传感器，其特征在于，包括织物隔板；

所述织物隔板的一侧设有多个呈阵列分布的无源天线，织物隔板的另一侧设有多个铁氧体薄膜；

所述铁氧体薄膜与无源天线一一对应设置，位置相互对准。

2.根据权利要求1所述的无线压力传感器，其特征在于，所述无源天线包括基板、设于基板上的电感器和电容器；所述电感器与所述电容器串联构成LC谐振器，所述电感器与外部接收器线圈耦合，实现压力信号无线传输。

3.根据权利要求2所述的无线压力传感器，其特征在于，所述电感器为呈螺旋状分布于所述基板上的感应线圈。

4.根据权利要求2所述的无线压力传感器，其特征在于，所述基板为双面覆铜层的PI膜，所述电容器与其中一个铜层电连接，电感器与另一铜层电连接，两铜层通过通孔铜电镀连接。

5.根据权利要求1所述的无线压力传感器，其特征在于，所述铁氧体薄膜的磁导率大于100。

6.一种无线压力传感器的制作方法，其特征在于，所述传感器包括：织物隔板和分设于织物隔板两侧的无源天线、铁氧体薄膜；所述方法包括如下步骤：

在所述织物隔板上创建双面对准标记；

在织物隔板的其中一个侧面上根据对准标记固定无源天线；

在织物隔板的另一侧面上与无源天线相对准的固定铁氧体薄膜。

7.根据权利要求6所述的无线压力传感器的制作方法，其特征在于，所述无源天线的制作方法包括：

选取双面覆铜层的PI膜作为基板，使两铜层保持电连接；

分别对两铜层进行图案化；

将电感器、电容器分别固定于两铜层上，并与相应铜层保持电连接，实现电感器和电容器串联连接。

8.根据权利要求7所述的无线压力传感器的制作方法，其特征在于，通过设置通孔铜的方法实现两铜层的电连接。

9.根据权利要求7所述的无线压力传感器的制作方法，其特征在于，所述图案化的方法包括：标准丝网印刷法和湿法蚀刻法。

10.根据权利要求6所述的无线压力传感器的制作方法，其特征在于，所述方法还包括采用激光微加工技术将所述铁氧体薄膜、无源天线划分为大小一致的单一形状。