[发明专利]压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置

权利要求书

1.一种压电器件，其特征在于，具备：

基板，其形成有多个第一凹部；

振动板，其被设置在所述基板的一面侧；以及

压电元件，其具有第一电极、压电体层和第二电极，所述第一电极隔着所述振动板而被设置在所述基板的一面侧，所述压电体层被设置在所述第一电极上，所述第二电极被设置在所述压电体层上，

在所述压电元件中，所述压电体层的由所述第一电极与所述第二电极夹持的活性部针对每个所述第一凹部而独立设置，

所述第一电极构成针对各个所述活性部而独立设置的独立电极，

所述第二电极构成由多个所述活性部所共用设置的共用电极，

在所述压电体层上设置有第二凹部，所述第二凹部被设置于所述活性部的外侧，且向与所述基板的相反侧开口，

所述振动板具有氮化膜和氧化锆膜，

所述氧化锆膜在所述基板与所述压电元件的层压方向上，位于所述氮化膜与所述压电元件之间，

在与所述层压方向交叉的第一方向上所述压电体层和所述振动板重叠的第一区域中，在所述振动板上设置有所述氮化膜和所述氧化锆膜这两方，

在所述第一方向上所述压电体层和所述振动板未重叠的第二区域中，在所述振动板上未设置有氧化锆膜，而设置有所述氮化膜。

2.如权利要求1所述的压电器件，其特征在于，

在所述第二凹部的内表面上形成有所述第二电极。

3.如权利要求2所述的压电器件，其特征在于，

所述氧化锆膜在同所述活性部与所述第二凹部的底面之间重叠的区域内，以不与被形成在所述第二凹部的侧面上的所述第二电极相接触的方式而延伸配置。

4.如权利要求1所述的压电器件，其特征在于，

所述氧化锆膜在所述层压方向上仅被设置在与所述活性部重叠的区域内。

5.如权利要求1至4中任意一项所述的压电器件，其特征在于，

多个所述活性部被排列设置在第一方向上，

在所述活性部的所述第一方向上的两侧设置有所述第二凹部。

6.如权利要求1至4中任意一项所述的压电器件，其特征在于，

在所述层压方向上，所述第二凹部与所述第一凹部被配置在至少一部分重叠的位置上。

7.如权利要求1至4中任意一项所述的压电器件，其特征在于，

所述第二凹部以在所述层压方向上贯穿所述压电体层的方式被设置。

8.如权利要求1至4中任意一项所述的压电器件，其特征在于，

所述振动板在所述基板侧具有含有氧化硅的氧化膜。

9.如权利要求8所述的压电器件，其特征在于，

所述氧化膜具有与所述第一凹部连通的开口部。

10.一种液体喷射头，其特征在于，

具备权利要求1至9中任意一项所述的压电器件。

11.一种液体喷射装置，其特征在于，

具备权利要求10所述的液体喷射头。