[发明专利]一种数据集成存储系统和光刻机系统

说明书

本发明公开一种数据集成存储系统和光刻机系统，其中数据集成存储系统包括：元数据管理单元、模板定制单元、模板应用单元、模板解释单元、XML文档解析单元和内存数据库；模板应用单元用于接收模板定制单元输入的数据对象模板，以及接收用户根据数据对象模板输入的业务信息，形成具有业务信息的数据对象；模板解释单元用于将模板信息和业务信息转换为第一XML格式文档；XML文档解析单元用于将每个第一XML格式文档解析为对应的第二XML格式文档，并根据第二XML格式文档中的模板信息将第二XML格式文档写入到内存数据库。通过引入XML作为对异构数据进行数据描述的标准工具，可以实现光刻机异构数据的融合，提高了设备数据集成度，给数据处理、分析提供了便利。

技术领域

本发明实施例涉及数据存储技术领域，尤其涉及一种数据集成存储系统和光刻机系统。

背景技术

高端步进扫描投影光刻机的最终目标是完成自动化连续量产操作，从外部世界来看，量产流程可以看成是三种信息流的协作过程，分别为硅片流、掩模流和数据流。

目前光刻机中数据流的实现是通过光刻机各个软件单元各自产生及使用，数据无法共享，导致光刻机生产过程中数据冗余，构造的数据量大并且在光刻机生产过程中反复传输，严重影响光刻机的产率等性能指标；并且生产过程中多种异构数据降低了光刻机数据存储的一致性，导致光刻机设备数据集成度较低，给数据处理、分析带来困难。

发明内容

本发明提供一种数据集成存储系统和光刻机系统，以实现消除光刻机生产过程中的数据冗余，提高光刻机设备的数据集成度，以及提升光刻机的稳定性和可靠性，提高产率。

第一方面，本发明实施例提供了一种数据集成存储系统，包括：

元数据管理单元，用于建立元数据以及建立元数据对应的内存数据库字段名，以形成元数据库；

模板定制单元，用于选取元数据库中的元数据生成数据对象模板，并将数据对象模板的模板信息保存在模板信息库中，以及将数据对象模板中的元数据对应的内存数据库字段名保存在内存数据库中，模板信息与数据对象模板一一对应；

模板应用单元，用于接收模板定制单元输入的数据对象模板，以及接收用户根据数据对象模板输入的业务信息，形成具有业务信息的数据对象；

模板解释单元，用于识别模板应用单元中数据对象中数据对象模板的模板信息和业务信息，并将模板信息和业务信息转换为第一XML格式文档；

XML文档解析单元，用于将每个第一XML格式文档解析为对应的第二XML格式文档，并根据第二XML格式文档中的模板信息将第二XML格式文档写入到内存数据库；

内存数据库，用于接收第二XML格式文档，并将第二XML格式文档存储在对应的数据表中。

其中，数据对象模板的模板信息包括模板名称、模板类型、元数据以及元数据对应的内存数据库字段名；XML文档解析单元具体用于根据数据对象模板的模板名称确定第二XML格式文档在内存数据库中对应的数据表，以及还用于根据元数据的内存数据库字段名确定包含业务信息的元数据在数据表中的具体位置。

其中，数据集成存储系统还包括：

XSD校验单元，用于对第一XML格式文档进行校验以确定业务信息是否有效。

其中，XSD校验单元还用于确定业务信息无效时，向对应的模板应用单元发出无效提醒信息，以使模板应用单元提示用户对无效的业务信息进行修改。

其中，XSD校验单元还用于在确定输入到模板应用单元的业务信息全部有效后，将第一XML格式文档传输至XML文档解析单元进行解析。

其中，模板定制单元具体用于：

选取元数据库中的元数据建立多个不同的视图；