[发明专利]流体管路内部静电测量系统及其方法

说明书

本发明公开一种流体管路内部静电测量系统及其方法，其中该流体管路内部静电测量方法，包括以下步骤：配置接地金属板于流体管路的外管壁；通过接地金属板与外管壁形成接地作用，接地金属板具有感应电荷，感应电荷是感应并与外管壁具有的外壁既存电荷加总为外壁总电荷，且外壁总电荷相依于流体管路的内管壁的待测电荷；以及测量接地金属板上方的静电电压值，以获得流体管路的内管壁的待测电荷的电压值。

技术领域

本发明涉及一种流体管路内部静电测量系统及其方法。

背景技术

半导体元件于制作工艺中，需使用绝缘管路输送超纯水或有机溶剂等流体。不易导电的流体在绝缘管路中流动时，会因流体间或流体与管壁间的摩擦，从而导致静电的产生，而使静电累积于内管壁及流体上。摩擦起电的成因是在摩擦过程中，最外层电子得到足够的能量而发生转移，游离能较高者，获得电子带负电，游离能较低者，失去电子带正电。在上述传输流体的过程中，此累积的静电有可能会造成管壁击穿，甚至会引起闪火而发生管路爆炸等工安问题，因此如何即时监控管路的内管壁的静电累积量，已成厂务及工安的新课题。

当绝缘管路的内管壁带有静电时，其发出的电力线有可能使空间中游离的电荷因为电力的作用而吸附在绝缘管路的外管壁上；另一方面，绝缘管路的外管壁也有可能因为安装或操作时的摩擦所带静电(可能为正电或负电)残留在绝缘管路的外管壁上。因此，绝缘管路的外管壁所带的静电为未知，将会对绝缘管路的内管壁的静电的检测造成干扰。而且，由于绝缘管路的内管壁的电荷的电场一直存在，因此无法轻易以接地或离子风扇的方式将绝缘管路的外管壁的静电去除。再者，绝缘管路属于封闭状态，使得液体于绝缘管路内输送时长期处于封闭状态，无法以开路型式直接测量绝缘管路的内管壁的静电量。此外，绝缘管路的外管壁如前述也可能有静电累积，因而干扰绝缘管路的内管壁的静电量的测量结果，造成即时监控流体管路的内管壁的静电累积量的困难。

发明内容

本发明提供一种流体管路内部静电测量系统及其方法，可解决流体管路的外管壁的静电累积的干扰，并能在流体管路的外部测量的方式，即时监控流体管路的内管壁的静电累积量，避免累积的静电产生的工安问题。

本发明的一实施例提出一种流体管路内部静电测量系统，包括一接地金属板、一静电感测装置以及一处理装置。接地金属板配置于一流体管路的一外管壁，用于与外管壁形成一接地作用，使接地金属板具有一感应电荷，感应电荷是感应并与该外管壁具有的外壁既存电荷加总为一外壁总电荷，且该外壁总电荷相依于流体管路的一内管壁的一待测电荷。静电感测装置耦接于接地金属板，用于感测接地金属板上方的静电电压值。处理装置连接于静电感测装置，通过接地金属板上方的静电电压值，以获得流体管路的内管壁的待测电荷的电压值。

本发明的另一实施例提出一种流体管路内部静电测量方法，包括以下步骤：配置一接地金属板于一流体管路的一外管壁；通过接地金属板与外管壁形成一接地作用，其中接地金属板具有一感应电荷，感应电荷是感应并与外管壁具有的外壁既存电荷加总为一外壁总电荷，且该外壁总电荷相依于流体管路的一内管壁的一待测电荷；以及测量接地金属板上方的静电电压值，以获得流体管路的内管壁的待测电荷的电压值。

基于上述，在本发明的流体管路内部静电测量系统及其方法中，接地金属板的感应电荷会与外壁既存电荷(可能为正电或负电)形成一外壁总电荷，且此一外壁总电荷与内管壁的待测电荷相依，如此一来，可将未知外管壁的外壁既存电荷转换为与流体管路的内管壁的待测电荷相依的电荷量，此举可解决流体管路的外管壁的静电累积的干扰，且由于外管壁的外壁总电荷会小于内管壁的待测电荷，因此在流体管路的外管壁之外，仍可感应并测量得到内管壁的待测电荷与外管壁的外壁总电荷的总和效应的感应结果，故可达到在流体管路的外部测量的方式，即时监控流体管路的内管壁的静电累积量。

为让本发明能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附的附图作详细说明如下。

附图说明

图1为本发明的流体管路内部静电测量系统一实施例的示意图；