[发明专利]一种增强热量吸收的亚太赫兹波探测器有效
| 申请号： | 201910021826.9 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN109738063B | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 孙肖林;王芳;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 南京工业职业技术大学;中检科（南京）太赫兹科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 210000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 增强 热量 吸收 亚太 赫兹 探测器 | ||
1.一种增强热量吸收的亚太赫兹波探测器，包括衬底层(1)，其特征在于：所述衬底层(1)的上方设置有石墨烯导热层(2)，所述石墨烯导热层(2)的上方设置有绝缘层(3)，所述绝缘层(3)的上方设置有引线电极(4)以及对数周期天线(5)，对数周期天线(5)的两臂分别与对应的引线电极(4)电连接；所述对数周期天线(5)的两臂之间设置有石墨烯导电层(6)，该石墨烯导电层(6)与对数周期天线(5)的两臂电连接，所述石墨烯导电层(6)的上方设置有介质层(7)，所述介质层(7)上设置有劈裂栅极(8)，以及与劈裂栅极(8)电连接的引线电极(4)，
所述石墨烯导热层(2)为间隔设置，所述石墨烯导电层(6)的中部设置有热电偶层(11)。
2.如权利要求1所述的一种增强热量吸收的亚太赫兹波探测器，其特征在于：所述石墨烯导热层(2)分为第一石墨烯导热层(9)、第二石墨烯导热层(10)，第一石墨烯导热层(9)与第二石墨烯导热层(10)设置有绝缘材料，并且第二石墨烯导热层(10)于所述对数周期天线(5)的两臂间隔处的下方处与第一石墨烯导热层(9)融合。
3.如权利要求2所述的一种增强热量吸收的亚太赫兹波探测器，其特征在于：所述第二石墨烯导热层(10)与第一石墨烯导热层(9)的融合截面为楔形。
4.如权利要求1所述的一种增强热量吸收的亚太赫兹波探测器，其特征在于：所述绝缘层(3)为硅胶制成。
5.如权利要求1所述的一种增强热量吸收的亚太赫兹波探测器，其特征在于：所述绝缘层(3)的厚度为50～100nm。
6.如权利要求1所述的一种增强热量吸收的亚太赫兹波探测器，其特征在于：所述石墨烯导热层(2)的厚度为15～30μm。
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