[发明专利]一种自洁、防雾、隔热镀膜玻璃及其制备方法在审
| 申请号： | 201910019890.3 | 申请日： | 2019-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN109455947A | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 简明德;王乾廷;董俊豪 | 申请（专利权）人： | 福建工程学院 |
| 主分类号： | C03C17/34 | 分类号： | C03C17/34 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 防雾 自洁 玻璃 复合膜层 隔热镀膜 中间层 基板 内层 制备 氟化类金刚石 二氧化硅层 类金刚石层 二氧化硅 隔热功能 膜层 | ||
1.一种自洁、防雾、隔热镀膜玻璃，包括基板，基板的表面上设有复合膜层，复合膜层由内之外依序包括内层、中间层和外层，其特征在于：所述内层为二氧化硅层，中间层为二氧化硅+类金刚石层，外层为氟化类金刚石层。
2.根据权利要求1所述的一种自洁、防雾、隔热镀膜玻璃，其特征在于：所述二氧化硅层的厚度为20-50nm。
3.根据权利要求1所述的一种自洁、防雾、隔热镀膜玻璃，其特征在于：所述二氧化硅+类金刚石层的厚度为10-30nm。
4.根据权利要求1所述的一种自洁、防雾、隔热镀膜玻璃，其特征在于：所述氟化类金刚石层的厚度为50-80nm。
5.根据权利要求1所述的一种自洁、防雾、隔热镀膜玻璃，其特征在于：所述基板的厚度为3-7mm。
6.根据权利要求1所述的玻璃的制备方法，其特征在于：所述制备方法包括以下步骤：
1）用清洗机对基板进行清洗；
2）内层：将基板送入镀膜室，射频磁控溅射二氧化硅层，基板的温度为25-60℃，负偏压100-150V，工作气压0.2-1Pa，基板转速2-8rpm，二氧化硅靶电流2-4A，氩气流量为15-25mL/min，溅射时间为45-135min，射频功率为100-300W，二氧化硅靶与基板间距离为40-60 mm；
3）中间层：继续射频磁控溅射二氧化硅+类金刚石层，基板的温度为25-60℃，负偏压100-150V，工作气压0.2-1Pa，基板转速2-8rpm，二氧化硅靶电流2-4A，碳靶电流2-4A，氩气流量为15-25mL/min，溅射时间为10-50min，射频功率为100-300W，二氧化硅靶、碳靶与基板间距离均为40-60 mm；
4）外层：继续射频磁控溅射氟化类金刚石层，基板的温度为25-60℃，负偏压100-150V，工作气压0.2-1Pa，基板转速2-8rpm，碳靶电流2-4A，CHF3气流量为5-10mL/min，氩气流量为15-25mL/min，溅射时间为10-50min，射频功率为100-300W，碳靶与基板间距离为40-60 mm。
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