[发明专利]一种多功能气体检测装置在审
申请号: | 201910014996.4 | 申请日: | 2019-01-08 |
公开(公告)号: | CN109632936A | 公开(公告)日: | 2019-04-16 |
发明(设计)人: | 宾峰;康润宁;何浚珧;魏小林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院力学研究所 |
主分类号: | G01N27/62 | 分类号: | G01N27/62;G01N21/3504;G01N21/65 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡剑辉 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 六通 真空腔体 多功能气体 原位反应池 表面反应 检测装置 密封状态 耦合 毛线 高真空条件 定量分析 反应系统 进样系统 气体流路 实时在线 影响表面 在线切换 最终产物 进出口 反应物 分子泵 四级杆 真空腔 质谱仪 气室 定性 保证 | ||
1.一种多功能气体检测装置,其特征在于,包括:
六通真空腔体(1),以及与所述六通真空腔体(1)中任意四个进出口分别连接的气室(2)、分子泵(3)、耦合原位反应池(5)和毛线管进样系统(6);
所述六通真空腔体(1)的其余两个进出口为密封状态,且两个密封状态中的一个上设置有四级杆(7)。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述六通真空腔体(1)由三根中部交汇联通的真空管构成,且形成6个进出口。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述两个密封状态中的另一个上设置有真空硅(8)。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述分子泵(3)的一端连接于所述六通真空腔体(1)的进出口,所述分子泵(3)的一端连接有前驱泵(4)。
5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述耦合原位反应池(5)的一端设置有漫反射原位红外光谱仪(51)和另一端设置有漫反射原位拉曼光谱仪(52)。
6.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述气室(2)、分子泵(3)耦合原位反应池(5)和毛线管进样系统(6)分别于所述六通真空腔体(1)的进出口之间设置有减气阀(9)。
7.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述毛线管进样系统(6)一端连接于所述六通真空腔体(1)的进出口,另一端通过导管与所述耦合原位反应池(5)连接。
8.根据权利要求7所述的装置,其特征在于,所述毛线管进样系统(6)的另一端与所述耦合原位反应池(5)之间还设置有两个减气阀(9)。
9.根据权利要求1-8任一所述的装置,其特征在于,所述装置用于检测反应物、中间产物和最终产物。
10.根据权利要求9所述的装置,其特征在于,所述反应物至少包以下之一:H2、CO、CH4、CO2;
所述最终产物包括:CmHn,n=3-6。
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