[发明专利]一种玻璃激光标刻系统

说明书

本发明实施例适用于激光标刻领域，提供了一种玻璃激光标刻系统，其包括用于对玻璃板进行激光标刻的光路系统和用于定位玻璃板以及驱使光路系统在X轴和Z轴方向移动的机械系统，光路系统安装在机械系统上，机械系统包括机座、用于吸附玻璃板的吸附组件以及用于定位玻璃板的定位组件，吸附组件安装在机座上，光路系统位于吸附组件上方，定位组件安装在吸附组件上，定位组件包括用于对玻璃板进行粗定位的机械定位装置以及用于对玻璃板进行精定位的CCD定位装置。本发明通过机械定位装置对玻璃板进行粗定位以及通过CCD定位装置对玻璃板进行精定位，提高了玻璃板的定位精度，并进一步提高玻璃板的加工精度。

技术领域

本发明属于激光标刻技术领域，尤其涉及一种玻璃激光标刻系统。

背景技术

ITO薄膜是指铟锡氧化物的半导体透明导电薄膜，通常将ITO薄膜镀在玻璃基板上，其厚度范围为100-500nm。传统的ITO刻线采用的是化学试剂刻蚀，这种方法主要是因其废品率高、成本高而逐渐被淘汰。现在ITO刻线慢慢开始偏向于成本低、无污染、易操作、良品率高的激光刻蚀技术。

新型的激光刻蚀方式是通过调节高能激光束的焦点位置，使其直接作用于ITO薄膜层，并调整激光能量，使得ITO层瞬间气化而不影响基底玻璃面板，从而达到蚀刻的效果。激光蚀刻后均未对玻璃面板造成损伤，尺寸精度误差在15um以内，且激光蚀刻设备相较于化学试剂刻蚀，设备体积更加小巧、易操作、成本低、良品率高，ITO激光刻蚀已逐渐成为行业中的主力军,但目前的激光蚀刻设备的定位精度及加工精度仍无法满足更加精细的生产技术要求。

发明内容

本发明实施例所要解决的技术问题在于提供一种玻璃激光标刻系统，旨在解决现有技术中用激光标刻玻璃板时定位精度以及加工精度不高的问题。

本发明实施例是这样实现的:一种玻璃激光标刻系统，其包括用于对玻璃板进行激光标刻的光路系统和用于定位玻璃板以及驱使所述光路系统在X轴和Z轴方向移动的机械系统，所述光路系统安装在所述机械系统上；

所述机械系统包括机座、用于吸附玻璃板的吸附组件以及用于定位玻璃板的定位组件，所述吸附组件安装在所述机座上，所述光路系统位于所述吸附组件上方，所述定位组件安装在所述吸附组件上，所述定位组件包括用于对玻璃板进行粗定位的机械定位装置以及用于对玻璃板进行精定位的CCD定位装置，所述机械定位装置和所述CCD定位装置固定在所述吸附组件周围。

进一步地，所述吸附组件包括用于承载和吸附玻璃板的吸附夹具、支撑所述吸附夹具的夹具支撑装置以及用于对所述吸附夹具上的玻璃板进行顶升的顶升装置；

所述吸附夹具安装于所述夹具支撑装置上，所述顶升装置设置于吸附夹具下方，所述顶升装置包括若干个支撑柱、支撑板以及安装于支撑板下方的升降机构，所述支撑柱设置在所述支撑板上，所述支撑柱穿过所述吸附夹具，所述吸附夹具上开设有与所述支撑柱对应的通孔；

所述升降机构包括升降支架、用于驱动所述升降支架升降的升降气缸、传感器支架以及用于检测玻璃板位置的传感器，所述升降气缸安装于所述升降支架下方，所述传感器支架安装于所述升降支架上方，所述传感器安装在所述传感器支架上，所述升降气缸的活塞杆在玻璃板下料时推动所述支撑板以及所述支撑柱向上移动。

进一步地，所述机械定位装置设置于所述吸附夹具四周，所述机械定位装置包括定位气缸和定位柱，所述吸附夹具的相邻两个侧面均设置有两个所述定位气缸，位于所述吸附夹具的同一个侧面的两个所述定位气缸的对面分别对应设置有若干个所述定位柱，所述定位气缸能推动所述玻璃板向所述定位柱方向移动，并能抵靠于所述定位柱，所述定位柱和所述定位气缸共同定位玻璃板。

进一步地，所述CCD定位装置设置于所述吸附夹具四周且位于所述吸附夹具下方，所述CCD定位装置具有五组，其中四组所述CCD定位装置分别位于所述吸附夹具的四个侧面的中点处，第五组所述CCD定位装置设置于所述吸附夹具其中一个侧面的四分之一位置处。