[发明专利]一种内建单向止回结构的低噪音电子真空泵

权利要求书

1.一种内建单向止回结构的低噪音电子真空泵，消音罩与泵室盖板之间密封设置有消音套，消音套通过弹性隔膜分离为进气室、缓冲室，弹性隔膜上开设有若干过气孔，其特征在于，进气室内设置有路径延长止回件，泵室盖板与过气孔之间的直线路径通过路径延长止回件形成延长的曲折气路；当真空泵工作时，气流迫使弹性隔膜发生形变，通过路径延长止回件形成的曲折气路导通，气流经曲折气路到达过气孔；当真空泵停止工作时，弹性隔膜由于弹性隔膜内外压差发生形变，阻断通过路径延长止回件形成的曲折气路，实现止回。

2.根据权利要求1所述的内建单向止回结构的低噪音电子真空泵，其特征在于，路径延长止回件包括支撑板，支撑板的四周与消音套的进气室的内侧密封贴合，支撑板与弹性隔膜的过气孔错位开设有通气孔，曲折气路在通气孔的位置朝向过气孔弯折。

3.根据权利要求2所述的内建单向止回结构的低噪音电子真空泵，其特征在于，支撑板朝向弹性隔膜的一面设置有凸起的沿口凸筋，沿口凸筋包围通气孔；当弹性隔膜紧贴于沿口凸筋，曲折气路阻断。

4.根据权利要求3所述的内建单向止回结构的低噪音电子真空泵，其特征在于，支撑板朝向弹性隔膜的一面靠近边沿位置设置有凸起的支撑壁，支撑壁顶抵于弹性隔膜，支撑壁的外壁横向延伸出卡装筋条，通过卡装筋条与进气室的内壁形成过盈配合。

5.根据权利要求2所述的内建单向止回结构的低噪音电子真空泵，其特征在于，支撑板朝向泵室盖板的一面设置有若干凸起的支撑块，支撑板通过支撑块保持与泵室盖板形成间隔。

6.根据权利要求5所述的内建单向止回结构的低噪音电子真空泵，其特征在于，“T”型结构的支撑块围绕通气孔呈放射状均布设置，“T”型结构的支撑块的直段部朝向通气孔，横段部朝向支撑板的边沿。

7.根据权利要求2所述的内建单向止回结构的低噪音电子真空泵，其特征在于，在自然状态下，弹性隔膜朝向通气孔形成弧面。

8.根据权利要求7所述的内建单向止回结构的低噪音电子真空泵，其特征在于，弹性隔膜的厚度小于进气室的侧壁厚度，进气室的侧壁厚度小于缓冲室的内壁厚度。

9.根据权利要求8所述的内建单向止回结构的低噪音电子真空泵，其特征在于，进气室朝向泵室盖板的端部内壁设开设倒角，形成喇叭口；气室朝向泵室盖板的端部外壁设开设倒角。

10.根据权利要求1所述的内建单向止回结构的低噪音电子真空泵，其特征在于，消音罩的内顶面与弹性隔膜相对的位置设置至少一层环形消音槽，相邻的环形消音槽之间通过若干过气缺口相通；环形消音槽由消音罩的内顶面朝向弹性隔膜凸起的若干层环形壁围成，环形壁上开设有若干过气缺口；缓冲室与消音罩的安装凸环过盈配合，呈套设连接；缓冲室与安装凸环之间设置过气口，气流经环形消音槽、过气口挤压流出消音套。

11.根据权利要求10所述的内建单向止回结构的低噪音电子真空泵，其特征在于，安装凸环设置若干横向内凹的让位凹面，让位凹面与缓冲室的侧壁之间的间隙形成过气口；消音套的外壁横向延伸有分隔翼边，消音罩的内顶面与分隔翼边相对的位置设置下压凸环，下压凸环与分隔翼边相抵；下压凸环开设有泄气缺口；气流挤压流出消音套后，再经泄气缺口挤压流出。