[发明专利]一种微型表面结构加工的设备及方法在审
申请号: | 201910002703.0 | 申请日: | 2019-01-02 |
公开(公告)号: | CN109702487A | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
发明(设计)人: | 肖贵坚;黄云;罗远新;李伟 | 申请(专利权)人: | 重庆大学 |
主分类号: | B23P23/00 | 分类号: | B23P23/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 400000 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 抛磨 激光刻蚀装置 处理器件 结构加工 抛磨装置 微型表面 激光头 悬挂架 固定装置 控制升降 台座 第一驱动机构 表面完整性 表面微结构 激光刻蚀 技术手段 驱动机构 依次设置 支撑 | ||
1.一种微型表面结构加工的设备,其特征在于,所述微型表面结构加工的设备包括表面抛磨装置、激光刻蚀装置、器件固定装置悬挂架及台座;
所述表面抛磨装置及所述激光刻蚀装置依次设置在所述悬挂架上;所述台座支撑所述悬挂架;
所述表面抛磨装置包括抛磨头,所述抛磨头用于对待处理器件进行表面抛磨;所述抛磨头通过第一驱动机构控制升降;
所述激光刻蚀装置包括激光头,所述激光头用于对所述待处理器件进行激光刻蚀;所述激光头通过第二驱动机构控制升降;
所述器件固定装置用于固定所述待处理器件。
2.如权利要求1所述的微型表面结构加工的设备,其特征在于,所述器件固定装置底部装有滑动装置,所述滑动装置可使所述器件固定装置平稳地在水平方向上移动。
3.如权利要求2所述的微型表面结构加工的设备,其特征在于,所述滑动装置包括定位装置,所述定位装置可将所述器件固定装置固定在相对于所述表面抛磨装置和/或激光刻蚀装置的预设位置。
4.如权利要求3所述的微型表面结构加工的设备,其特征在于,所述滑动装置为滑轮及滑轨;所述滑轮可固定在所述滑轨上沿滑轨方向移动。
5.如权利要求1所述的微型表面结构加工的设备,其特征在于,所述第一驱动机构及第二驱动机构为气动泵。
6.如权利要求1所述的微型表面结构加工的设备,其特征在于,所述表面抛磨装置为砂带磨削装置。
7.一种微型表面结构的加工方法,其特征在于,包括:
提供待处理器件;
对所述待处理器件进行表面抛磨;
对经过表面抛磨的待处理器件进行激光刻蚀,得到具有预设图案的成品器件。
8.如权利要求7所述的微型表面结构的加工方法,其特征在于,所述表面抛磨为多角度表面抛磨。
9.如权利要求8所述的微型表面结构的加工方法,其特征在于,所述表面抛磨为砂带磨削。
10.如权利要求9所述的微型表面结构的加工方法,其特征在于,所述对所述待处理器件进行表面抛磨包括:
对所述待处理器件进行表面的粗磨;
对经过粗磨的待处理器件进行表面的精磨;
对经过精磨的待处理器件进行表面的抛光。
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