[发明专利]光源装置

说明书

光源装置具有：多个光源部，它们分别出射波段彼此不同的多个光；多个分光镜，它们分别被设置于向外部出射光的第1光路上，所述多个分光镜的光透射特性彼此不同，多个分光镜分别反射或透过由多个光源部中的任意光源部出射的光；多个光传感器，它们分别位于多个第2光路上，分别检测在第2光路中传播的光的光量，第2光路是与第1光路不同的光路，是光在分光镜反射或透过后该光进行传播的光路；以及控制部，其根据多个光传感器分别检测到的光量，对多个光的光量比进行控制。

技术领域

本发明涉及光源装置。

背景技术

公知有如下技术：在具有出射波长彼此不同的光的多个光源的光源装置中，光传感器直接检测来自光源的泄漏光，由此对各光源的输出进行控制(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2015/016172号

发明内容

发明要解决的课题

但是，在上述技术中，使用从各光源的光路偏离的泄漏光，因此，在要检测的光量中存在波动，与照明光的一致性低，很难高精度地将各光源的光量比保持恒定。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供能够高精度地将多个光源的光量比保持恒定的光源装置。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题并实现目的，本发明的光源装置的特征在于，所述光源装置具有：多个光源部，它们分别出射波段彼此不同的多个光；多个分光镜，它们分别被设置于向外部出射光的第1光路上，所述多个分光镜的光透射特性彼此不同，所述多个分光镜分别反射或透过由所述多个光源部中的任意光源部出射的光；多个光传感器，它们分别位于多个第2光路上，分别检测在所述第2光路中传播的光的光量，所述第2光路是与所述第1光路不同的光路，是光在所述分光镜反射或透过后该光进行传播的光路；以及控制部，其根据所述多个光传感器分别检测到的光量，对所述多个光的光量比进行控制。

本发明的光源装置在上述发明中，其特征在于，所述多个光传感器分别被设置于根据各光传感器的分光灵敏度特性、与入射到各光传感器的光的波长对应的最大光量和所述光源部出射的光的强度分布确定的位置。

本发明的光源装置在上述发明中，其特征在于，所述多个光传感器分别被设置于各光传感器相对于各波长的相对分光灵敏度、与入射到各光传感器的光的波长对应的最大光量和所述光源部出射的光的相对强度分布之积大致相同的位置。

本发明的光源装置的特征在于，所述光源装置具有：多个光源部，它们分别出射波段彼此不同的多个光；多个分光镜，它们分别被设置于向外部出射光的第1光路上，所述多个分光镜的光透射特性彼此不同，所述多个分光镜分别反射或透过由所述多个光源部中的任意光源部出射的光；以及多个光传感器，它们位于第2光路上，分别检测在所述第2光路中传播的光的光量，所述第2光路是与所述第1光路不同的光路，是光在与所述第1光路中的光向外部出射的出射位置最接近的所述分光镜反射或透过后该光进行传播的光路，各光传感器被设置于根据各光传感器的分光灵敏度特性、与入射到各光传感器的光的波长对应的最大光量和所述光源部出射的光的强度分布确定的位置，检测所述多个光中的与其他光传感器检测的光不同的光的光量。

本发明的光源装置在上述发明中，其特征在于，所述多个光传感器包含至少2个所述光传感器，该至少2个所述光传感器被配置于所述第2光路上的在与所述第2光路垂直的1个平面内从光路中心起的距离彼此不同的位置。

本发明的光源装置在上述发明中，其特征在于，所述多个光传感器针对相同波长的光源检测照度不同的区域的光量，通过多个传感器的检测值的组合，在比1个光传感器宽的动态范围内进行光量的检测。