[发明专利]用于液滴中的杂质的检测和/或测量的方法和装置

权利要求书

1.一种用于流体中的粒子的检测和/或测量的测量装置(1)，所述测量装置包括：

流体源(11)，所述流体源(11)用于沿着流体流动路径产生流体流(111)；

激光源(12)，所述激光源(12)被定位成用于在所述流体流动路径的测量空间中发射激光的激光束(120)；

散射光检测装置(13)，所述散射光检测装置(13)用于通过检测和测量由粒子以不同角度散射的激光束光来检测所述粒子在所述流体流动路径中的存在性，

其特征在于，所述测量装置还包括：

拉曼和荧光检测装置(15)，所述拉曼和荧光检测装置(15)用于检测在由所述激光束(120、140)激发时由所述流体发射的拉曼散射信号和由所述粒子发射的荧光信号。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其中，所述流体源(11)是喷嘴，所述喷嘴用于产生具有超过所述喷嘴的流动路径的水滴流。

3.根据权利要求1所述的测量装置，其中，所述流体源(11)包括管，所述管用于产生具有沿着所述管的流动路径的水滴流。

4.根据前述权利要求中任一项所述的测量装置，还包括第一透镜组(16)，所述第一透镜组(16)用于收集由包含在所述流体流(111)中的粒子在所述测量空间中散射的第一激光(121)。

5.根据权利要求4所述的测量装置，其中，所述第一透镜组(16)被配置成用于在所述透镜组(16)的焦距(f2)处将散射的所述光(121)聚焦成线，所述线横向于所述测量空间中的所述流体流的流动方向。

6.根据权利要求5所述的测量装置，其中，所述第一透镜组(16)被配置成用于通过沿平行于所述流动方向(y)的方向聚焦散射的所述光来将散射的所述光聚焦成线，并且用于使散射的光的射线在垂直于所述流动方向的平面中彼此平行。

7.根据前述权利要求中任一项所述的测量装置，其中，所述散射光检测装置(13)是多像素光散射检测器。

8.根据前述权利要求中任一项所述的测量装置，还包括第二透镜组(17)，所述第二透镜组(17)用于收集在由所述激光束(120、140)激发时由所述流体分子发射的拉曼信号和由所述粒子发射的荧光信号。

9.根据前述权利要求中任一项所述的测量装置，其中，所述拉曼和荧光检测装置(15)是光电检测器，所述光电检测器被定位成用于检测由第二透镜组(17)收集的激光(141)。

10.根据权利要求9所述的测量装置，其中，所述光电检测器(15)是线性多像素检测器，所述线性多像素检测器用于捕获由所述透镜组(17)聚焦的激光，其中，所述线性多像素检测器(4)被定位在距所述透镜组(17)的焦距(f2)一距离处并且被定向成使得所述线性多像素检测器(4)的纵向轴线平行于所述线。

11.根据前述权利要求中任一项所述的测量装置，其中，所述激光源(12)被配置成用于发射连续激光束(120)。

12.根据前述权利要求中任一项所述的测量装置，其中，所述激光源被配置成用于发射具有200nm至800nm的波长的激光束(120)。

13.根据前述权利要求中任一项所述的测量装置，其中，所述激光源(12)被配置成用于发射具有高达数十纳米的发射谱的激光束(120)。

14.根据前述权利要求中任一项所述的测量装置，其中，所述激光源(12)被配置成用于发射具有从数毫瓦直到数瓦的输出光学功率范围的激光束(120)。