[发明专利]成像数据解析装置在审

专利信息
申请号: 201880098461.3 申请日: 2018-11-20
公开(公告)号: CN112805559A 公开(公告)日: 2021-05-14
发明(设计)人: 山口真一 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: G01N27/62 分类号: G01N27/62
代理公司: 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 代理人: 杨楷;毛立群
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 成像 数据 解析 装置
【权利要求书】:

1.一种成像数据解析装置,可基于通过对试样上的二维的或者试样中的三维的测量区域内所设定的多个微小区域分别进行规定的分析而获取到的、示出规定的参数和信号强度的关系的光谱数据,生成示出规定的参数值或者规定的参数值范围的信号强度的二维分布或者三维分布的成像图像,其特征在于,所述成像数据解析装置具备:

感兴趣区域设定部,在二维的或者三维的测量区域内,设定一个或者多个局部的感兴趣区域;

感兴趣区域对应数据选择部,从针对由所述感兴趣区域设定部设定的感兴趣区域所包括的多个微小区域得到的光谱数据中,获取与该感兴趣区域相对应的、规定的参数值或者规定的参数值范围的信号强度;

强度范围确定部,基于通过所述感兴趣区域对应数据选择部而获取到的多个信号强度的频率分布,确定作为解析对象的信号强度的范围;

感兴趣区域确定部,在通过所述感兴趣区域对应数据选择部而获取到的信号强度中,将对得到了由所述强度范围确定部确定的信号强度范围所包括的信号强度的微小区域进行集合而得的区域,确定为由所述感兴趣区域设定部设定的感兴趣区域中的实质的感兴趣区域。

2.一种成像数据解析装置,可基于通过对试样上的二维的或者试样中的三维的测量区域内所设定的多个微小区域分别进行规定的分析而获取到的、示出规定的参数和信号强度的关系的光谱数据,生成示出规定的参数值或者规定的参数值范围的信号强度的二维分布或者三维分布的成像图像,其特征在于,所述成像数据解析装置具备:

感兴趣区域设定部,在二维的或者三维的测量区域内,设定一个或者多个局部的感兴趣区域;

感兴趣区域对应数据选择部,从针对由所述感兴趣区域设定部设定的感兴趣区域所包括的多个微小区域得到的光谱数据中,获取与该感兴趣区域相对应的、规定的参数值或者规定的参数值范围的信号强度;

强度范围确定部,基于通过所述感兴趣区域对应数据选择部而获取到的多个信号强度的频率分布,确定作为解析对象的信号强度的范围;

解析执行部,在通过所述感兴趣区域对应数据选择部而获取到的多个信号强度中,使用由所述强度范围确定部确定的信号强度范围所包括的信号强度来执行规定的解析处理。

3.如权利要求1所述的成像数据解析装置,其特征在于,

所述感兴趣区域设定部包括:图像显示处理部,将针对所述二维的或者三维的测量区域的观察图像或者成像图像显示在显示部;感兴趣区域范围指定部,用于用户在所述显示部所显示的观察图像上或者成像图像上指定感兴趣区域的范围,将经由所述感兴趣区域范围指定部指定的范围设定为感兴趣区域。

4.如权利要求1所述的成像数据解析装置,其特征在于,

所述强度范围确定部包括:频率分布显示处理部,将示出通过所述感兴趣区域对应数据选择部而获取到的多个信号强度的频率分布的图表显示在显示部;强度范围指定部,用于用户在所述显示部所显示的频率分布图表上指定强度范围,将经由所述强度范围指定部指定的强度范围确定为作为解析对象的信号强度的范围。

5.如权利要求2所述的成像数据解析装置,其特征在于,

所述感兴趣区域设定部对作为差异解析或者比较解析的对象的多个组分别包括的一个或者多个感兴趣区域进行设定,

所述解析执行部基于对所述多个组分别由所述感兴趣区域对应数据选择部以及所述强度范围确定部进行处理的结果而得到的信号强度,执行针对该多个组的差异解析或者比较解析。

6.如权利要求5所述的成像数据解析装置,其特征在于,

差异解析或者比较解析是利用了统计假设检验的解析。

7.如权利要求3所述的成像数据解析装置,其特征在于,

所述图像显示处理部在显示部所显示的频率分布图表中指定任意的信号强度或者信号强度范围时,将与该信号强度或者信号强度范围相对应的微小区域在显示部所显示的针对二维的或者三维的测量区域的观察图像或者成像图像中显示。

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