[发明专利]用于涂覆基板的系统和工艺

说明书

描述了一种用于涂覆基板的系统。所述系统包括：运输布置，所述运输布置用于移动所述基板；和第一涂覆单元，所述第一涂覆单元被配置为用第一材料涂覆所述基板。所述系统进一步包括控制器，所述控制器被配置为在所述第一涂覆单元的活动状态期间使所述基板的移动方向反向至少一次。

技术领域

本公开内容的实施方式涉及用于涂覆基板的系统和工艺，特别地涉及用于涂覆移动基板的系统和工艺。本公开内容的实施方式特别地涉及用于对基板涂覆多层堆叠物的系统和工艺，而另外的实施方式涉及多层堆叠物。

背景技术

用于光学应用(例如像带通滤波器或抗反射涂层)的典型的层堆叠物通常由分别为高折射率材料和低折射率材料(例如，SiO₂和Nb₂O₅)的许多交替层组成。通常，每个单一层具有不同厚度，其中非常准确的厚度有益于得到正确指定光学性质。

特别是对于使柔性基板涂覆有层堆叠物，典型的涂覆系统包括沿基板所采用的路径布置的大量涂覆源。这会伴有高空间要求和高成本。

鉴于上文，提供用于涂覆基板的改进的系统和工艺是有益的。

发明内容

提供了一种用于涂覆基板的系统、一种用于涂覆基板的工艺以及一种多层堆叠物。

根据本公开内容的一方面，提供了一种用于涂覆基板的系统。所述系统包括：运输布置，所述运输布置用于移动所述基板；和第一涂覆单元，所述第一涂覆单元被配置为用第一材料涂覆所述基板。所述系统进一步包括控制器，所述控制器被配置为在所述第一涂覆单元的活动状态期间使所述基板的移动方向反向至少一次。

根据本公开内容的一方面，提供了一种用于涂覆基板的工艺。所述工艺包括在被配置为用第一材料涂覆所述基板的第一涂覆单元的活动状态期间，使所述基板的移动方向反向至少一次。

根据本公开内容的一方面，提供了一种通过根据本文中描述的方面的工艺生产的多层堆叠物。所述多层堆叠物包括第一层。所述第一层包括在使移动方向反向之前产生的第一子层和在使所述移动方向反向之后产生的第二子层。所述第一子层和所述第二子层各自包括第一材料。所述第一子层在至少一个物理性质上与所述第二子层不同。

应将本公开内容理解为涵盖用于实行所公开的方法的设备和系统，包括用于执行每个所描述的方法方面的设备部分。方法方面可例如通过硬件部件、通过由适当软件编程的计算机或通过这两者的任何组合来执行。还应将本公开内容理解为涵盖用于操作所描述的设备和系统的方法。用于操作所描述的设备和系统的方法包括用于实行相应设备或系统的每一功能的方法方面。

附图说明

为了可详细地理解上述特征，下文可通过参考实施方式来提供对上文简要地概述的主题的更具体的描述。附图与实施方式有关并在下文进行描述：

图1示出了根据本文中描述的实施方式的用于涂覆基板的系统的示意性截面图；

图2示出了根据本文中描述的另外的实施方式的用于涂覆基板的系统的示意性截面图；

图3示出了根据本文中描述的另外的实施方式的用于涂覆基板的系统的示意性截面图；

图4示出了根据本文中描述的实施方式的示出用于涂覆基板的工艺的流程图；

图5示出了根据本文中描述的实施方式的通过用于涂覆基板的工艺产生的多层堆叠物；和

图6示出了图5中示出的多层堆叠物的详细视图。

具体实施方式