[发明专利]激光加工装置、激光加工系统和激光加工方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，其具有：

载置台，其载置被加工物；

光学系统，其将激光引导至被载置于所述载置台的所述被加工物；

气体供给口，其向所述被加工物上的所述激光的照射区域的周边供给气体；

气体回收口，其回收从所述气体供给口供给的所述气体；

移动装置，其使所述被加工物上的所述激光的所述照射区域移动；以及

控制装置，其根据所述照射区域的移动方向对从所述气体供给口向所述气体回收口流动的所述气体的气体流的方向进行控制，

所述控制装置伴随着所述移动装置对所述照射区域的移动方向的变更，对所述气体流的方向进行变更，以使所述气体向与所述照射区域的移动方向相反的方向流动，

所述气体供给口和所述气体回收口均为多个，

所述控制装置根据所述照射区域的移动方向对多个所述气体供给口和多个所述气体回收口中的、吹出所述气体的所述气体供给口和回收所述气体的所述气体回收口的组合进行变更，由此对所述气体流的方向进行变更。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

包含在照射区域的移动方向上配置在一侧的气体供给口与配置在另一侧的气体回收口的组、以及配置在另一侧的气体供给口与配置在一侧的气体回收口的组，伴随着照射区域的移动方向的变更对这些组进行切换。

3.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

所述激光加工装置还具有：

第1切换阀，其在所述多个所述气体供给口中切换吹出所述气体的所述气体供给口和停止吹出所述气体的所述气体供给口；以及

第2切换阀，其在所述多个所述气体回收口中切换回收所述气体的所述气体回收口和停止回收所述气体的所述气体回收口，

所述控制装置根据所述照射区域的移动方向对所述第1切换阀和所述第2切换阀进行控制。

4.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

所述激光加工装置还具有旋转装置，该旋转装置调换所述气体供给口和所述气体回收口的配置位置，

所述控制装置根据所述照射区域的移动方向使所述旋转装置旋转，由此对所述气体流的方向进行变更。

5.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

所述激光加工装置还具有排气装置，该排气装置与所述气体回收口连接。

6.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

所述光学系统包含：

线射束整形光学系统，其生成具有长方形的射束形状的线射束；

掩模，其被照射所述线射束；以及

投影光学系统，其将所述掩模的像投影到所述被加工物的表面。

7.根据权利要求6所述的激光加工装置，其中，

所述移动装置包含使所述线射束整形光学系统在第1轴的方向上往复移动的单轴台。

8.根据权利要求6所述的激光加工装置，其中，

作为所述移动装置，使用使所述激光在所述线射束的短轴方向即第1轴的方向上移动的第1移动装置，

所述激光加工装置还具有第2移动装置，该第2移动装置使所述被加工物在所述第1轴的方向和所述线射束的长轴方向即第2轴的方向的各方向上移动，

所述控制装置对所述第1移动装置和所述第2移动装置进行控制。

9.根据权利要求8所述的激光加工装置，其中，

所述控制装置交替地实施使所述第2移动装置进行动作而对所述被加工物的加工对象区域进行变更的控制、以及使所述第1移动装置进行动作而使所述被加工物上的所述激光的所述照射区域移动并进行所述加工对象区域的加工的控制。

10.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

所述激光加工装置还具有流量调节部，该流量调节部对从所述气体供给口吹出的所述气体的流量进行调节，

所述控制装置根据加工条件和预测通过对所述被加工物照射所述激光而产生的碎屑量的信息，对所述流量调节部进行控制。