[发明专利]硅基钟表弹簧的制造方法有效
| 申请号： | 201880090643.6 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111801627B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 西尔万·吉恩内勒特;弗雷德里克·梅勒;让-露丝·柏凯丽 | 申请（专利权）人： | 百达翡丽日内瓦公司 |
| 主分类号： | G04B1/14 | 分类号： | G04B1/14 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 赵赫;张澜 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 钟表 弹簧 制造 方法 | ||
1.一种钟表弹簧的制造方法，包括以下步骤：
a)制造基于硅的工件，所述工件具有所述钟表弹簧的所需形状或包含具有所述钟表弹簧的所需形状的部分；
b)对所述工件进行热氧化；
c)对所述工件进行脱氧；
d)在还原性气氛中对所述工件进行退火；以及
e)在所述工件上形成氧化硅层。
2.一种钟表弹簧的制造方法，包括以下步骤：
a)制造基于硅的工件，所述工件具有所述钟表弹簧的所需形状或包含具有所述钟表弹簧的所需形状的部分；
b)在还原性气氛中对所述工件进行退火；
c)对所述工件进行热氧化；
d)对所述工件进行脱氧；以及
e)在所述工件上形成氧化硅层。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述步骤a)包括蚀刻操作。
4.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述步骤a)包括深反应离子蚀刻操作。
5.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述热氧化步骤在600℃至1300℃之间温度下进行。
6.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述热氧化步骤在800℃至1200℃之间的温度下进行。
7.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述脱氧步骤包括蚀刻操作。
8.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述脱氧步骤包括湿式蚀刻操作、气相蚀刻操作或干式蚀刻操作。
9.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述退火步骤在严格大于50托的压力下进行。
10.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述退火步骤在严格大于100托的压力下进行。
11.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述退火步骤在低于或等于大气压的压力下进行。
12.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述退火步骤在800℃到1300℃之间的温度下进行。
13.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述还原性气氛包括氢气。
14.根据权利要求13所述的方法，其中，所述还原性气氛还包括惰性气体。
15.根据权利要求14所述的方法，其中，所述惰性气体是氩气。
16.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述步骤e)通过热氧化进行。
17.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述硅为单晶硅或多晶硅。
18.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述钟表弹簧为主发条、锤簧、杠杆弹簧、摇簧、爪簧、定位弹簧、游丝或挠性罐道。
19.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述钟表弹簧为筒形弹簧。
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