[发明专利]模块化真空泵送和/或减排系统

说明书

真空泵送和/或减排系统（80），用于从实体（90）排放和/或减排流体，所述系统（80）包括：第一模块（20），包括用于从实体（90）泵送流体的真空泵送设备（24）和/或用于减排从实体（90）排放的流体的减排设备；以及第二模块，在第一系统维度中被布置为相邻于第一模块（20）；其中，第一模块和第二模块每个在第一系统维度中具有最大大小，所述最大大小是共同固定系统值（x）的相应整数倍数。

技术领域

本发明涉及真空泵送和/或减排系统。

背景技术

真空泵送和减排系统用于各种和不同技术领域（例如，半导体制造）中。通常，在所述系统中，真空泵送设备用于将气体（例如，来自工业过程的气体）泵送出特定位置，并且减排设备用于减排（例如，消灭或清除）已产生的非期望物质（例如，排放气体）。

根据所涉及的过程，可存在有不同的标准，用于真空泵送和减排。例如，通常期望的是，使用不同的真空泵送设备，用于涉及不同过程气体、不同气体压力和不同气体流动的不同过程。而且，通常期望的是，使用不同的减排设备，以消灭或清除不同的非期望物质，或处理不同的气体流动。

真空泵送和减排系统通常被设计定制为根据将与其使用的特定过程。然而，设计、制造和安装此类定制系统所花费的时间量通常被延长，因为不同的过程要求不同的真空泵送和减排系统解决方案。

发明内容

在第一方面中，本发明提供了模块化真空泵送和减排系统，用于从实体排放和减排气体。系统包括多个功能模块和多个气体连接管线，每个气体连接管线用于输送通过其的气体流动。多个功能模块包括：第一模块，包括真空泵送设备，用于从实体泵送气体；以及第二模块，包括减排设备，用于减排从实体泵送的气体。第一模块在第一系统维度中定位为相邻于第二模块。第一模块和第二模块每个在第一系统维度中具有最大大小，所述最大大小是共同固定系统值（例如，在10mm-5cm的范围中的值，例如，44mm）的相应整数倍数。第一模块由多个气体连接管线中的至少一个流体连接到第二模块，使得减排设备可接收由真空泵送设备从实体泵送的气体。气体连接管线中的每个包括一个或多个部段，每个部段具有的大小例如在第一系统维度中是共同固定系统值的相应整数倍数。

本发明人已认识的是，通常，对于定制设计的真空泵送和减排系统，趋向于难以特征化或预测系统内的气体的温度曲线，特别是在构建或组装真空泵送和减排系统之前。如此，一旦在操作中，则可被认识的是，系统内的气体的温度足够低，使得气体内的一种或多种可凝结物质凝结成液态或固态，例如，在系统的气体连接管线或管道内。可凝结物质的此凝结可形成堵塞，限制气体流动和/或不利于系统的操作。这也可导致过程气体的更不有效的处理。从半导体制造设施输出的过程气体趋向于包括可凝结物质。

本发明人已认识的是，有利地，使用具有的宽度为相同预确定共同系统值的整数倍数的模块趋向于提供的是，将那些模块连接在一起所需的连接管线（例如，管道、导管、电线或用于真空泵送和/或减排系统中的任何其它物体）长度具有的长度也是相同预确定共同系统值的整数倍数。而且，这趋向于允许预先制造标准化模块和连接管线。这趋向于允许更准确地确定或预测模块和连接管线的特征和行为，例如，在组装系统之前。这趋向于允许更准确地和更容易地确定或预测整个真空泵送和减排系统的特征和行为。例如，准确地特征化或预测系统内的气体的温度曲线趋向于是显著更容易的。这趋向于有助于将系统设计为具有有利或优选的气体温度曲线，例如，从而减少或消除过程气体中的可凝结物质在系统中的凝结。而且，趋向于有助于通过热管理系统而热管理所述系统，以控制系统内的过程气体的温度曲线。因此，有利地，模块化真空泵送和减排系统趋向于缓解或克服上述问题。