[发明专利]玻璃体的制造装置、玻璃体的制造方法、套件搬运机构及套件加热机构

说明书

本发明目的在于提供能够抑制运转率的降低、维护成本的增大的玻璃体的制造装置。一种使具有多孔质部的套件脱水并进行透明玻璃化而制造玻璃体的玻璃体的制造装置，其具备：第一加热炉，其具备收容套件的炉心管、和第一加热器，脱水气体被供给至炉心管内，并且利用第一加热器在比多孔质部的软化点低的第一处理温度下对套件进行加热；第二加热炉，其具备以收容套件的方式构成的结构体、和第二加热器，并且利用第二加热器在软化点以上的第二处理温度下对套件进行加热；以及搬运容器，其构成为能够分别与第一加热炉以及第二加热炉在维持相对于大气的气密性的同时进行连接，收容并保持套件，并在第一加热炉与第二加热炉之间搬运套件。

技术领域

本发明涉及玻璃体的制造装置、玻璃体的制造方法、套件搬运机构、以及套件加热机构。

背景技术

石英玻璃系光纤通常通过将作为由石英系玻璃构成的玻璃体即光纤母材拉丝而制造。在制造该光纤母材时，例如使用OVD(Outside Vapor-phase Deposition)法。在使用OVD法的情况下，在由石英系玻璃构成的目标棒的外周堆积石英玻璃微粒子，呈层状形成多孔质部而制作套件(ス一ト)。之后，为了除去多孔质部所包含的羟基，将套件在脱水气体环境下加热，实施所谓的脱水处理。脱水处理在比构成套件的石英玻璃的软化点低的温度下实施。之后，对套件实施在软化点以上的温度下加热的玻璃化处理。由此，在多孔质部中，存在于内部的空孔消失，而成为透明的玻璃(以下记载为适当透明玻璃化)。

脱水处理与玻璃化处理在相同或者不同的加热炉内进行。另外，加热炉通常具备由石英玻璃构成的炉心管(例如专利文献1、2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-345869号公报

专利文献2：日本特开2007-153708号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，玻璃化处理在软化点以上的温度下进行，因此由石英玻璃构成的炉心管有可能软化而变形或者失透。在炉心管变形或者失透的情况下，需要进行更换炉心管等维护，因此成为加热炉以及包括加热炉的玻璃体的制造装置整体的运转率降低、维护成本的增大的重要因素。

另一方面，可以考虑将脱水处理与玻璃化处理在不同的加热炉内进行。在该情况下，例如，可以考虑在具备在玻璃化处理温度下具有耐热性的炉心管的加热炉中进行玻璃化处理的方法。然而，在该方法中，在从进行脱水处理的脱水加热炉向进行玻璃化处理的玻璃化加热炉转移套件时，有可能使大气流入脱水加热炉。当大气流入脱水加热炉时，大气的水分与脱水气体反应而生成腐蚀性物质，该腐蚀性物质有可能损伤脱水加热炉。另外，腐蚀性物质有可能附着于套件，并与套件一起被运送至玻璃化加热炉。并且，存在如下可能性：在脱水加热炉中生成的腐蚀性物质向外部漏出、或者脱水气体漏出而与大气的水分反应而在脱水加热炉的外部生成腐蚀性物质，从而损伤脱水加热炉、其他设备。

本发明是鉴于上述情况而完成的，目的在于提供能够抑制运转率的降低、维护成本的增大的玻璃体的制造装置、玻璃体的制造方法、套件搬运机构、以及套件加热机构。

用于解决课题的方案

为了解决上述的课题并达成目的，本发明的一方案所涉及的玻璃体的制造装置是将具有多孔质部的套件脱水并进行透明玻璃化而制造玻璃体的制造装置，其特征在于，具备：第一加热炉，其具备收容所述套件的炉心管、和第一加热器，脱水气体被供给至所述炉心管内，并且利用所述第一加热器在比所述多孔质部的软化点低的第一处理温度下对所述套件进行加热；第二加热炉，其具备以收容所述套件的方式构成的结构体、和第二加热器，并且利用所述第二加热器在所述软化点以上的第二处理温度下对所述套件进行加热；以及搬运容器，其构成为能够分别与所述第一加热炉以及所述第二加热炉在维持相对于大气的气密性的同时进行连接，收容并保持所述套件，并在所述第一加热炉与所述第二加热炉之间搬运所述套件。