[发明专利]使用阳离子表面活性剂和/或有机盐的玻璃对的临时结合

说明书

本文描述了制品及制造制品(例如玻璃制品)的方法，所述制品包含薄片材和载体，其中，所述薄片材和载体利用改性(涂)层，例如包含阳离子表面活性剂的涂层或包含有机盐的涂层结合在一起，以及相关的沉积方法。改性层利用足够的结合强度将薄片材和载体结合在一起，以防止薄片材和载体在高温(？500℃)加工期间分层，同时还防止在所述加工期间在片材之间形成永久结合。

本申请根据35U.S.C.§119要求2017年11月20日提交的系列号为62/588,568的美国临时申请的优先权权益，本文以该申请的内容为基础并将其通过引用全文纳入本文。

技术领域

本公开一般涉及包含在载体上的薄片材的制品以及用于在载体上制造薄片材的方法，更具体而言，涉及包含可控地结合在玻璃载体上的薄玻璃片的制品以及用于制造可控地结合在玻璃载体上的薄玻璃片的方法。

背景技术

挠性基材提供了使用卷到卷加工的更便宜的装置的前景，并且有可能制造更薄、更轻、挠性更强且更耐久的显示器。然而，尚未完全开发出用于卷到卷加工高品质显示器的技术、设备和工艺。由于面板制造商已经大量投资于处理大型玻璃片的成套工具，因此将挠性基材层压到载体上并通过片到片的加工以在挠性基材上制造显示装置提供了一种更为短期的解决方案来开发更薄、更轻及挠性更强的显示器的价值主张。已经在聚合物片材上展现出了显示器，所述聚合物片材例如聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)，其中，装置的制造是使PEN层压到玻璃载体的片到片形式。然而，PEN的温度上限限制了装置的品质以及可使用的方法。另外，聚合物基材的高渗透性导致有机发光二极管(OLED)装置的环境变差，在有机发光二极管装置中近乎气密性的封装是有益的。薄膜包封提供了克服这种限制的潜在解决方案，但是尚未证实其能够在大体积下提供可接受的产量。

类似地，显示装置可使用层压至一个或更多个薄玻璃基材的玻璃载体来制造。预计薄玻璃的低渗透性以及改进的温度和化学耐性将能够获得性能更高、寿命更长的挠性显示器。

一些装置利用滤色器(CF)或非晶硅薄膜晶体管(a-Si TFT)，它们通常分别在约250℃和350℃的温度下制造。然而，更高的温度应用，例如包括氧化物薄膜晶体管(氧化物TFT或ox-TFT)也是重要的。氧化物TFT加工通常在350至450℃的温度下进行，并且还可能使用额外的加工技术，例如真空、以及湿法蚀刻环境。这些条件限制了可以使用的材料，并且对载体和/或薄片材提出了高要求。因此，需要一种载体方法，其利用制造商的现有资本基础设施能够加工玻璃片材(例如厚度≤0.3毫米(mm)的薄片材)，而不会在较高的加工温度下丧失薄片材与载体之间的结合强度，并且其中薄片材在工艺结束时容易与载体脱粘。该方法应允许：a)室温下载体与薄片材之间自发结合，优选地无需层压，以提供约100-500mJ/m²的充足的结合或粘附能；b)随后的湿和干加工步骤不使薄片材从载体剥离；c)结合对能够经受制造中的热、化学、真空和湿加工步骤；d)在热加工期间的最小的排气；和e)在加工结束时薄片材易与载体分离。

一个商业优势在于，制造商将能够利用他们已经对加工设备所做的资本投资，同时取得将薄片材(例如薄玻璃片材)用于例如光伏器件(PV)、OLED、液晶显示器(LCD)和图案化薄膜晶体管(TFT)电子器件的益处。另外，这种方法能够实现工艺灵活性，包括：薄片材和载体的清洁和表面准备的工艺，从而促进结合。

发明内容