[发明专利]手动工具、用于该手动工具的刀头以及扭矩传感器

说明书

提供一种作业性、操作性优异并且能够进行精密的紧固扭矩管理的手动工具。该手动工具具有：手柄(10)，其具有装卸自如地保持刀头的刀头保持部(12)；以及磁致伸缩式的扭矩传感器(30)，其具有接收保持到刀头保持部(12)的刀头(20)并且将该刀头(20)的外周包围的检测部(33)，该磁致伸缩式的扭矩传感器能够以非接触的方式对作用于刀头(20)的扭矩进行检测并且装卸自如地设于手柄(10)。扭矩传感器(30)能够构成为，形成为在刀头(20)安装到手柄(10)的刀头保持部(12)的状态下能够安装于手柄(10)。

技术领域

本发明涉及一种带有扭矩传感器的手动工具、用于该手动工具的刀头以及扭矩传感器。

背景技术

在半导体制造工艺等各种制造工艺中，为了将准确计量后的工艺气体向工艺腔室供给，使用了将开闭阀、调节器、质量流量控制器等各种流体设备集成化而成的流体控制装置(例如，参照专利文献1)。

在上述那样的流体控制装置的组装工序中，需要对大量的内六角螺栓等螺栓进行紧固作业，另一方面，也要求较高的组装质量。

专利文献1：日本特开2016-050635号公报

专利文献2：日本特开2012-86284号公报

发明内容

发明要解决的问题

对于紧固作业中的扭矩管理在对组装质量进行维持管理的方面上是不可缺的，并且对于电动式、流体驱动式的自动工具，提出了许多能够进行精密的扭矩管理的工具(例如，参照专利文献2)。

然而，以往并不存在适用于由使用了螺丝刀、扳手等的手工作业进行的螺栓的紧固作业等并能够进行精密的扭矩管理而作业性、操作性优异的手动工具。

本发明的一个目的在于提供一种作业性、操作性优异并且能够进行精密的紧固扭矩管理的手动工具。

本发明的其他目的在于提供一种适用于上述手动工具的刀头以及扭矩传感器。

用于解决问题的方案

本发明的手动工具的特征在于，

该手动工具具有：

手柄，其具有装卸自如地保持刀头的刀头保持部；以及

磁致伸缩式的扭矩传感器，其具有用于接收保持到所述刀头保持部的刀头并且将该刀头的外周包围的检测部，该磁致伸缩式的扭矩传感器能够以非接触的方式检测作用于所述刀头的扭矩并且装卸自如地设于所述手柄。

优选的是，能够采用这样的结构：所述扭矩传感器形成为在所述刀头安装到所述手柄的刀头保持部的状态下能够安装于所述手柄。

技术方案1或2所记载的手动工具的特征在于，

所述手动工具能够采用这样的结构：

所述刀头具有能够与紧固构件卡合的顶端部、安装于所述刀头保持部的基端部、以及在所述顶端部与基端部之间延伸的轴部，

所述扭矩传感器的传感器部将所述刀头的轴部的局部作为被检测部来以非接触的方式检测作用于该刀头的扭矩。

更加优选的是，能够采用这样的结构：所述刀头的所述轴部的被检测部的截面形成为多边形形状。

更加优选的是，能够采用这样的结构：所述被检测部形成为具有所述轴部的除了该被检测部以外的部分的截面积以上的截面积。

在该情况下，能够设为，对于所述刀头，与所述被检测部的截面内切的圆的直径为10mm以下。

本发明能够将能够紧固所述紧固构件的最大紧固扭矩为10N·m以下的手动工具作为对象。