[发明专利]用于多频率射频(RF)偏置的RF滤波器

说明书

射频(RF)滤波器包括具有多个线圈区段的电感元件，所述多个线圈区段共同形成绞合磁导线的电缆的未分开线圈。至少两个相邻的线圈区段具有不同的匝距。绞合磁导线的电缆包括每通道两根导线，并且被构造用于至少一个通道。在电感元件的第一端部的绞合磁导线的电缆被构造为连接到将接收来自电源的电力的电气部件。电感元件的第二端部处的绞合磁导线的电缆被构造用于连接至电源。终端电容元件在电感元件的第二端部与电源之间的相应位置处电连接在参考接地电位与绞合磁导线的电缆的相应的导线之间。

技术领域

本公开内容涉及半导体制造设备。

背景技术

在各种半导体制造工艺中，射频(RF)功率被传输至处理室，以产生等离子体和/或产生偏压。例如加热器组件的一或多个其他电动部件可于暴露至RF功率下操作。例如，该加热器组件可构造及设置成加热该处理室内的部件或区域。用于产生该等离子体和/或偏压的RF功率会干扰电源和/或对电源造成损坏。必须防止RF功率干扰和/或对电源造成损坏。另外，将加热器电源连接至嵌入处理室内的RF电极中的加热组件可加载RF功率而降低其效率。需要RF滤波器以将RF电极与加热器电源隔离，电源是AC(交流)或DC(直流)，以使AC或DC电力可被提供至在RF电极内的加热组件而在该AC或DC供电路径内没有RF功率侵入。正是于此背景下才产生本公开内容。

发明内容

在示例性实施方案中，公开了射频(RF)滤波器。该RF滤波器包括电感元件，该电感元件包括至少2个线圈区段，这些线圈区段共同地形成绞合磁导线的电缆的未分开线圈。每个线圈区段包括在对应的匝距处所构造的绞合磁导线的电缆的未分开线圈的一部分。至少2个相邻的线圈区段具有不同的匝距。绞合磁导线的电缆包括每个通道两条导线且被构造用于至少一个通道。在该电感元件的第一端部处的绞合磁导线的电缆被构造用于连接至电气部件。该电气部件将从电源接收电力，该电源是DC电源或AC电源。在该电感元件的第二端部处的绞合磁导线的电缆被构造用于连接至该电源。该RF滤波器还包括成组的终端电容元件，其包括用于该绞合磁导线的电缆的每条导线的单独的终端电容元件。每个终端电容元件在该电感元件的第二端部和该电源之间的位置，电连接于参考接地电位与该绞合磁导线的电缆的相应的导线之间。

在示例性实施方案中，公开了用于对RF功率进行滤波的方法。该方法包括在电源与将由该电源接收电力的电气部件之间具有RF滤波器。该电源是DC电源或AC电源。该RF滤波器包括具有至少2个线圈区段的电感元件，这些线圈区段共同地形成绞合磁导线的电缆的未分开线圈。每个线圈区段包括以对应的匝距所构造的绞合磁导线的电缆的未分开线圈的一部分。至少2个相邻的线圈区段具有不同的匝距。该绞合磁导线的电缆包括每个通道两条导线且被构造用于至少一个通道。在该电感元件的第一端部处的绞合磁导线的电缆连接至该电气部件。于该电感元件的第二端部处的绞合磁导线的电缆连接至该电源。该RF滤波器还包括用于绞合磁导线的电缆的每条导线的单独的终端电容元件。每个终端电容元件在该电感元件的第二端部和该电源之间的位置，电连接于参考接地电位与该绞合磁导线的电缆的相应的导线之间。

在示例性实施方案中，公开用于对RF功率进行滤波的方法。该方法包括将来自电源的电力传输至在输入配置内的导线。这些导线连接至相应的电容元件。每对单独的导线被设定为向暴露至RF功率的电气部件提供电力。该方法还包括在电感元件的输入处，将来自该输入配置内的导线的电力传递至绞合磁导线的电缆内的对应磁导线。该电感元件包括至少2个线圈区段，这些线圈区段于该电感元件的输入和该电感元件的输出之间共同地形成该绞合磁导线的电缆的未分开线圈。每个线圈区段包括以对应的匝距处所构造的绞合磁导线的电缆的未分开线圈的一部分。至少2个相邻的线圈区段具有不同的匝距。该方法还包括在该电感元件的输出处，将来自该绞合磁导线的电缆内的磁导线的电力传递至连接到暴露于RF功率的电气部件的对应导线。

其他方面及优点将由以下详细叙述、结合所附的附图变得更明显，附图通过示例方式提供。

附图说明

图1A显示按照本公开的一些实施方案的CCP处理室的示例性直立截面概要图。