[发明专利]各向异性磁阻（AMR）角度传感器

权利要求书

1.一种各向异性磁阻角度传感器即AMR角度传感器，包括：

第一惠斯通电桥，所述第一惠斯通电桥包括第一蛇形电阻器、第二蛇形电阻器、第三蛇形电阻器和第四蛇形电阻器；

第二惠斯通电桥，所述第二惠斯通电桥包括第五蛇形电阻器、第六蛇形电阻器、第七蛇形电阻器和第八蛇形电阻器；

其中所述蛇形电阻器包括响应于所施加的磁场的改变而改变电阻的各向异性磁阻材料，以及

周围各向异性磁阻材料，所述周围各向异性磁阻材料设置在与所述蛇形电阻器基本上相同的平面中，包围所述蛇形电阻器，并且与所述蛇形电阻器电隔离，

其中所述第一惠斯通电桥、所述第二惠斯通电桥以及所述周围各向异性磁阻材料是传感器管芯的一部分。

2.根据权利要求1所述的AMR角度传感器，其中所述蛇形电阻器中的每个限定设置在与其他蛇形电阻器基本上相同的平面中的基本上为梯形的多边形，第一至第八蛇形电阻器设置成限定基本上为正八边形的多边形，所述第五蛇形电阻器位于所述第一蛇形电阻器和所述第二蛇形电阻器之间，所述第六蛇形电阻器位于所述第二蛇形电阻器和所述第三蛇形电阻器之间，所述第七蛇形电阻器位于所述第三蛇形电阻器和所述第四蛇形电阻器之间，并且所述第八蛇形电阻器位于所述第四蛇形电阻器和所述第一蛇形电阻器之间。

3.根据权利要求2所述的AMR角度传感器，其中包围所述蛇形电阻器的所述周围各向异性磁阻材料进一步设置在所述蛇形电阻器之间。

4.根据权利要求1所述的AMR角度传感器，其中所述周围各向异性磁阻材料与所述蛇形电阻器之间的所述电隔离小于2μm宽。

5.根据权利要求1所述的AMR角度传感器，其中通过小于1μm宽的蚀刻来提供所述周围各向异性磁阻材料与所述蛇形电阻器之间的所述电隔离。

6.根据权利要求1所述的AMR角度传感器，其中所述传感器管芯的平面面积小于1.2mm×1.2mm。

7.根据权利要求1所述的AMR角度传感器，进一步包括电耦合到所述传感器管芯的模拟前端即AFE，所述模拟前端向所述传感器管芯提供电力并且向所述传感器管芯的输出提供信号调节。

8.一种各向异性磁阻角度传感器即AMR角度传感器，包括：

第一惠斯通电桥，所述第一惠斯通电桥包括第一蛇形电阻器、第二蛇形电阻器、第三蛇形电阻器和第四蛇形电阻器；

第二惠斯通电桥，所述第二惠斯通电桥包括第五蛇形电阻器、第六蛇形电阻器、第七蛇形电阻器和第八蛇形电阻器，

其中所述蛇形电阻器各自限定设置在与其他蛇形电阻器基本上相同的平面中的基本上为梯形的多边形，第一至第八蛇形电阻器设置成限定基本上为正八边形的多边形，所述第五蛇形电阻器位于所述第一蛇形电阻器和所述第二蛇形电阻器之间，所述第六蛇形电阻器位于所述第二蛇形电阻器和所述第三蛇形电阻器之间，所述第七蛇形电阻器位于所述第三蛇形电阻器和所述第四蛇形电阻器之间，并且所述第八蛇形电阻器位于所述第四蛇形电阻器和所述第一蛇形电阻器之间，

其中所述蛇形电阻器包括响应于外部施加的磁场的改变而改变电阻的各向异性磁阻材料，以及

周围各向异性磁阻材料，所述周围各向异性磁阻材料设置在与所述蛇形电阻器基本上相同的平面中，包围所述蛇形电阻器，并且与所述蛇形电阻器电隔离。

9.根据权利要求8所述的AMR角度传感器，其中所述蛇形电阻器中的每个包括通过金属触点互连的多个基本上平行的各向异性磁阻材料条带。