[发明专利]用于生成电离射线的紧凑型源

权利要求书

1.一种用于生成电离辐射的源，包括：

真空腔室(12)；

阴极(14)，其能够向所述真空腔室(12)中发射电子束(18)；

阳极(16)，其接收所述电子束并且包括靶(20)，所述靶(20)能够从自所述电子束(18)接收的能量生成电离辐射(22)；

电极(24)，其放置在所述阴极(14)附近，并允许对所述电子束(18)进行聚焦；以及

塞子(32；170)，确保所述真空腔室(12)的密封性，

其特征在于，所述源(10)还包括由电介质制成并形成所述真空腔室的一部分的机械部件(28)，并且其特征在于，所述塞子(32；170)通过用于电连接所述电极(24)的导电钎焊膜(42)而固定到所述机械部件(28)。

2.根据权利要求1所述的源，其特征在于，所述塞子(32；170)由与所述机械部件(28)相同的电介质制成。

3.根据权利要求1-2中任一项所述的源，其特征在于，所述导电钎焊膜(42)关于所述电子束(18)的轴线(19)是轴对称的，并且其特征在于，所述导电钎焊膜(42)与所述电极(24)形成等电位组件。

4.根据权利要求1-2中的任一项所述的源，其特征在于，所述塞子(32；170)包括从其穿过的至少一个电连接(68)，所述至少一个电连接(68)允许对用于控制所述阴极(14)的装置进行电连接，并且被偏置到与所述导电钎焊膜(42)不同的电位。

5.根据权利要求4所述的源，其特征在于，所述塞子(32；170)形成同轴传输线，穿过所述塞子的所述至少一个电连接(68)形成所述同轴传输线的中心导体并且所述塞子的所述导电钎焊膜(42)形成所述同轴传输线的屏蔽物。

6.根据权利要求4所述的源，其特征在于，所述塞子(32；170)包括在所述真空腔室(12)的外部的表面(43)，其特征在于，在所述真空腔室(12)的外部的所述表面(43)包括独立地被金属化的多个独立的区域(43a，43b)，其特征在于，这些区域中的至少一个区域(43a)与所述至少一个电连接(68)电接触，并且其特征在于，这些区域中的另一个区域(43b)与所述导电钎焊膜(42)电接触，以通过所述至少一个电连接(68)和所述导电钎焊膜(42)来确保所述阴极(14)和所述电极(24)的电连接。

7.根据权利要求4所述的源，其特征在于，所述源包括同轴连接器(70，71)和腔穴(118，120)，所述同轴连接器连接到所述导电钎焊膜(42)和所述至少一个电连接(68)，所述腔穴(118，120)位于所述同轴连接器(70，71)和所述塞子(32；170)之间，所述腔穴(118，120)被从所述源(10)的主电场屏蔽。

8.根据权利要求7所述的源，其特征在于，所述机械部件(28)包括在所述真空腔室(12)的外部的表面，所述表面具有从所述塞子(32；170)的外表面张开的内部平截头体形状(104)，其特征在于，所述源(10)还包括具有与所述机械部件(28)的所述内部平截头体形状(104)互补的表面(110)的保持器(100)，并且其特征在于，所述互补的表面(110)和所述内部平截头体形状(104)被配置成当所述机械部件(28)安装在所述保持器(100)中时，将捕获在所述互补的表面(110)和所述内部平截头体形状(104)之间的空气朝向所述腔穴(118，120)传送。

9.根据权利要求4所述的源，其特征在于，所述阴极(14)通过场效应发射所述电子束(18)，并且其特征在于，用于控制所述阴极(14)的所述装置包括通过穿过所述塞子(32；170)的所述至少一个电连接(68)进行电连接的光电子组件。

10.根据权利要求1-2中的任一项所述的源，其特征在于，所述机械部件(28)包括腔穴(34)，所述阴极(14)放置在所述腔穴(34)中，并且其特征在于，吸气物(35)放置在所述腔穴(34)中且在所述阴极(14)和所述塞子(32；170)之间。