[发明专利]用于真空泵的电力供应系统以及真空泵

权利要求书

1.用于真空泵的电力供应系统，包括：

电力供应器件（22），以向真空泵（11）供应电能，用于操作；以及

能量储存器件（24），连接到所述电力供应器件（22）或马达控制器（20），以在所述真空泵（11）的降速期间储存从所述真空泵（11）传输的能量。

2.根据权利要求1所述的电力供应系统，其特征在于，在所述真空泵（11）的升速期间，使用被储存在所述能量储存器件（24）中的能量。

3.根据权利要求1或2所述的电力供应系统，其特征在于，在所述能量储存器件（24）中的能量以电能、机械能、化学能和/或热能被储存。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的电力供应系统，其特征在于，所述能量储存器件包括电池（24）、电容、压力容器、燃料电池或飞轮。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的电力供应系统，其特征在于，向所述真空泵提供的电能完全由所述能量储存器件（24）供应。

6.真空泵，特别是涡轮分子泵，包括：

定子（10）；

旋转组件（14），由电动马达（18）相对于所述定子（10）旋转，其中，所述旋转组件（14）包括至少一个转子元件（16），以便将气体从泵入口朝向泵出口输送；

控制器（20），连接到所述电动马达（18），以及

电力供应系统，与所述控制器（20）连接；

其特征在于能量储存器件，所述能量储存器件连接到所述电力供应系统或所述控制器，以在所述真空泵（11）的降速期间储存从所述真空泵（11）传输的能量。

7.用于关闭真空泵的方法，其中，电力供应器件（22）被切断，并且在切断所述电力供应器件（22）之后由所述真空泵（11）产生的能量被储存。

8.用于启动真空泵的方法，其中，电力供应器件（22）被接通，并且电力供应器件（22）的电能与由所述能量储存器件（24）产生的电能组合。

9.根据权利要求7或8所述的方法，包括根据权利要求1至5中任一项所述的电力供应系统和/或根据权利要求6所述的真空泵（11）。