[发明专利]用于整修复制工具的方法和用于制造大量装置的相关方法有效

专利信息
申请号: 201880045519.8 申请日: 2018-05-02
公开(公告)号: CN111279261B 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 余启川;伍寒妮;托比亚斯·桑;约翰·A·维达隆;拉蒙·奥珀达;阿蒂利奥·费拉里;哈特姆特·鲁德曼;马丁·舒伯特 申请(专利权)人: 赫普塔冈微光有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00;B29C59/00;B29D11/00
代理公司: 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人: 王东贤;王珍仙
地址: 新加坡新加*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 整修 复制 工具 方法 制造 大量 装置 相关
【权利要求书】:

1.一种用于整修包括工具材料的复制工具的方法,所述方法包括向所述工具材料施加处理,所述处理包括将所述工具材料暴露于整修材料。

2.根据权利要求1所述的方法,其中所述工具材料具有开孔结构。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的方法,其中所述处理包括使所述整修材料渗透至所述工具材料中。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其中所述工具包括一个或多个复制位点,所述工具材料在所述一个或多个复制位点中的每一个中建立复制表面,并且其中所述处理包括将所述整修材料施加至所述复制表面中的每一个,尤其将所述整修材料的分开部分施加至所述复制表面中的每一个,更尤其从而通过所述整修材料的各自分开部分覆盖所述复制表面中的每一个。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法,其中所述工具包括一个或多个复制位点,所述工具材料在所述一个或多个复制位点中的每一个中建立复制表面,并且其中所述处理包括用所述整修材料覆盖各自复制表面,尤其用所述整修材料另外覆盖邻近和围绕所述各自复制表面的所述工具材料的表面区域。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法,其中所述处理包括将所述工具材料暴露于所述整修材料至少三十分钟,尤其至少8小时。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法,其中所述处理包括将所述工具材料暴露于所述整修材料持续一定时间段,所述时间段为用所述整修材料实现所述工具材料的饱和需要的时间段至少一半长。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法,其中所述处理包括将所述工具材料暴露于所述整修材料至少直到用所述整修材料达到所述工具材料的饱和。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法,其中在所述处理被一部分所述整修材料的处理替代之前,所述工具材料散布着一个或多个孔和通道,并且其中一部分流体分别存在于所述孔和通道的至少一部分中。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的方法,其中所述处理包括通过在所述工具材料中吸收所述整修材料而在尺寸上改变所述工具材料。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的方法,其中所述工具材料为弹性材料。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的方法,其中所述工具材料为聚硅氧烷。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的方法,包括通过从所述复制工具去除所述整修材料而终止所述工具材料向所述整修材料的所述暴露。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的方法,其中所述整修材料为在初始状态下为液体或可塑性可变形并且能够通过暴露于能量而转化成硬化状态的材料,并且其中在所述工具材料暴露于所述整修材料期间,所述整修材料为其初始状态。

15.根据权利要求14所述的方法,其中所述处理包括将所述整修材料转变成其硬化状态并且从所述复制工具去除所述硬化的整修材料。

16.根据权利要求1至15中任一项所述的方法,包括,将所述工具材料暴露于所述整修材料之后,将所述复制工具保持另一时间段,尤其其中该另一时间段为将所述工具材料暴露于所述整修材料的时间段的至少0.2倍长,尤其至少0.5倍长,更尤其至少一样长。

17.根据权利要求16所述的方法,包括在所述复制工具的所述保持期间保护所述复制工具免受气候改变和污染中的一种或二者影响。

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