[发明专利]用于清洁金属表面的清洁溶液

权利要求书

1.一种用于清洁和/或润湿金属表面的清洁溶液，其包含

-至少一种酸，

-第一表面活性剂，其是浊点≤25℃的烷基-聚(乙二醇-共-丙二醇)-醚，和

-第二表面活性剂，其选自由以下组成的群组：

i)浊点≥30℃的烷基-聚(乙二醇-共-丙二醇)-醚，和

ii)浊点≥45℃的烷基-聚乙二醇-醚，

其中所述浊点根据德语版的欧洲标准EN 1890:2006条款8.2程序A来测定，其中在测定过程中修改为使用10wt％H₂SO₄作为溶剂且所述表面活性剂的浓度为1000mg/L，

其中在所述第一表面活性剂中，所述烷基具有6到30个碳原子，

其中在所述第二表面活性剂i)中，所述烷基具有6到22个碳原子，以及

其中在所述第二表面活性剂ii)中，所述烷基具有8到18个碳原子，且所述聚乙二醇部分由5到22个乙二醇单元组成。

2.根据权利要求1所述的清洁溶液，其中所述第一表面活性剂对所述第二表面活性剂的质量比在1:0.5到1:10的范围内。

3.根据前述权利要求中任一权利要求所述的清洁溶液，其中在所述清洁溶液中，所述第一表面活性剂的浓度为50-5000mg/L。

4.根据权利要求1或2所述的清洁溶液，其中在所述清洁溶液中，所述第二表面活性剂的浓度为50-20000mg/L。

5.根据权利要求1或2所述的清洁溶液，所述第一表面活性剂可包含具有不同烷基的分子混合物。

6.根据权利要求1或2所述的清洁溶液，所述第二表面活性剂i)可包含具有不同烷基的分子混合物。

7.根据权利要求1或2所述的清洁溶液，其中在所述第二表面活性剂ii)中，所述烷基是具支链烷基中的一或多者。

8.根据权利要求1或2所述的清洁溶液，其中所述至少一种酸是无机酸和/或甲烷磺酸。

9.根据权利要求1或2所述的清洁溶液，其进一步包含烷基二醇醚。

10.根据权利要求1或2所述的清洁溶液，其中在所述第二表面活性剂ii)中，所述烷基主要由具支链烷基中的一或多者组成。

11.一种用于润湿和/或清洁金属表面的方法，其包含以下步骤：利用根据权利要求1至10中任一权利要求所述的清洁溶液处理金属表面。

12.一种根据权利要求1至10中任一权利要求所述的清洁溶液的用途，其用于清洁和/或润湿金属表面。

13.一种用于将金属层沉积到金属表面上的方法，其包含以下步骤：

(a)提供金属表面，

(b)利用根据权利要求1至10中任一权利要求所述的清洁溶液处理所述金属表面，和

(c)利用金属沉积溶液处理所述金属表面，并由此将所述金属层沉积到所述金属表面上。

14.根据权利要求13所述的用于将金属层沉积到金属表面上的方法，其包含另一步骤

(d)将所述金属表面结合到抗蚀剂材料并使所述抗蚀剂材料成像。