[发明专利]光学装置

说明书

光学装置具备：基座，其具有主面；可动部，其具有光学功能部；及弹性支撑部，其连接于基座与可动部之间，且以可动部能够沿着与主面垂直的第1方向移动的方式支撑可动部。弹性支撑部具有：杆；第1扭转支撑部，其沿着与第1方向垂直的第2方向延伸，且连接于杆与可动部之间；及第2扭转支撑部，其沿着第2方向延伸，且连接于杆与基座之间。第1扭转支撑部的扭转弹簧常数大于第2扭转支撑部的扭转弹簧常数。

技术领域

本发明涉及一种例如作为MEMS(Micro Electro Mechanical Systems(微机电系统))装置而构成的光学装置。

背景技术

作为MEMS装置，已知有一种光学装置，其具备：基座；可动部，其具有光学功能部；及弹性支撑部，其连接于基座与可动部之间，且以可动部沿着移动方向能够移动的方式支撑可动部(例如参照专利文献1)。在此种光学装置中，存在如下情况：弹性支撑部包含可动部沿着移动方向移动时扭转变形的扭转支撑部而构成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利申请公开2008/0284078号说明书

发明内容

发明所要解决的问题

在如上所述的光学装置中，考虑以下结构：为了使可动部沿着移动方向能够大幅度移动，而减小扭转支撑部的宽度使得扭转支撑部容易扭转。然而，在此种结构中，在由于制造误差等而扭转支撑部的形状产生偏差的情况下，可动部在移动方向移动时可动部自目标姿势倾斜，其结果，有光学特性降低的担忧。

本发明的目的在于提供一种可抑制由扭转支撑部的形状的不均引起的光学特性的降低的光学装置。

解决问题的技术手段

本发明的一方面的光学装置具备：基座，其具有主面；可动部，其具有光学功能部；及弹性支撑部，其连接于具有主面的基座与可动部之间，且以可动部能够沿着与主面垂直的第1方向移动的方式支撑可动部；弹性支撑部具有：杆；第1扭转支撑部，其沿着与第1方向垂直的第2方向延伸，且连接于杆与可动部之间；及第2扭转支撑部，其沿着第2方向延伸，且连接于杆与基座之间；第1扭转支撑部的扭转弹簧常数大于第2扭转支撑部的扭转弹簧常数。

在该光学装置中，连接于杆与可动部之间的第1扭转支撑部的扭转弹簧常数大于连接于杆与基座之间的第2扭转支撑部的扭转弹簧常数。由此，即使在由于制造误差等而第1扭转支撑部及第2扭转支撑部的至少一者的形状产生偏差的情况下，也可在可动部在第1方向移动时抑制可动部自目标姿势倾斜。由此，根据该光学装置，可抑制由扭转支撑部的形状的不均所引起的光学特性的降低。

在本发明的一方面的光学装置中，在自第1方向观察的情况下，第1扭转支撑部的宽度也可宽于第2扭转支撑部的宽度。在该情况下，可使第1扭转支撑部的扭转弹簧常数较佳地大于第2扭转支撑部的扭转弹簧常数。

在本发明的一方面的光学装置中，在自第1方向观察的情况下，第1扭转支撑部的长度也可短于第2扭转支撑部的长度。在该情况下，可使第1扭转支撑部的扭转弹簧常数进一步较佳地大于第2扭转支撑部的扭转弹簧常数。

在本发明的一方面的光学装置中，基座、可动部及弹性支撑部也可由SOI基板构成。在该情况下，在通过MEMS技术而形成的光学装置中，可抑制由扭转支撑部的形状的不均所引起的光学特性的降低。

本发明的一方面的光学装置也可还具备：固定梳齿电极，其设置于基座，且具有多个固定梳齿；及可动梳齿电极，其设置于上述可动部及上述弹性支撑部的至少一者，且具有与上述多个固定梳齿相互交替地配置的多个可动梳齿。在该情况下，可使用于使可动部移动的致动器部简易化及低耗电化。