[发明专利]用于拍摄图像的方法和显微镜系统

权利要求书

1.用于拍摄样品区域(2)的图像的方法，所述方法包括：

将激光束(19)借助至少一个物镜(3)指向到样品区域(2)上，该样品区域包括至少一个边界面，其中，所述物镜实现将激光束成像到聚焦点上，该聚焦点位于聚焦平面(27b)中；

使物镜(3)和样品区域(2)彼此沿所述物镜(3)的光轴(13)相对移动到多个不同的相对移动位置处；

针对相应的相对移动位置(Z)，检测在边界面处反射的并且穿过所述物镜(3)的激光束的多个强度值，所述强度值由显微镜相机(8)的探测面(29)的二维的部分区域(65)的像素探测到；

针对相应的相对移动位置(Z)，将所述部分区域(65)的相应多个检测到的强度值中的恰好一个像素的相应最高的强度值确定为用于聚焦的尺度的单个最高像素强度；

通过将相应最高的强度值与相应的相对移动位置(Z)关联来确定最高强度值的变化曲线(67)；

由最高强度值的变化曲线(67)的至少一个最大值确定参考相对移动位置(79)；

检测在所述参考相对移动位置处样品区域的至少一个图像。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，该聚焦点位于所述物镜的光轴上或与所述物镜的光轴平行的轴线上。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述激光束(19)具有准直平行的射线束，并且所述激光束(19)的聚焦平面与所述物镜(3)的焦平面(27)重合。

4.根据权利要求1所述的方法，其还包括：

在使用第一距离分辨率的情况下通过使相对距离从最大距离开始减小到最小距离而使所述物镜(3)和所述样品区域彼此相对移动，使得所述变化曲线具有多个最大值；

基于所述多个最大值确定所述参考相对移动位置(79)作为第一参考相对移动位置；

以第二距离分辨率增大朝向第一参考相对移动位置的相对距离，所述第二距离分辨率高于所述第一距离分辨率，同时检测在相应其它的相对移动位置处的其它最高强度值(81)；

基于所述其它最高强度值(81)探测局部最大值(82)的存在。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述激光束具有朝向所述物镜准直平行的射线束，并且此外所述激光束(19)的聚焦平面与所述物镜(3)的焦平面(27)重合，

该方法还包括：将如下相对移动位置设定为最终的参考相对移动位置，在所述相对移动位置处存在或存在过基于所述其它最高强度值(81)探测到的局部最大值(82)。

6.根据权利要求4所述的方法，其中，所述激光束具有朝向所述物镜会聚的射线束(19a)，并且此外所述激光束的聚焦平面(27b)不与所述物镜的焦平面(27)重合，

该方法还包括：又将所述相对距离以预先确定的预设值增大到最终的参考相对移动位置(85f)。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，还包括：

使所述物镜(3)和所述样品区域(2)彼此沿所述光轴(13)相对移动到在所述参考相对移动位置上方和/或下方的相应最后的相对移动位置处；

检测在相应最后的相对移动位置处的相应的图像，以及存储所述相应的图像；

确定用于相应图像的相应聚焦度量以及选择具有最佳聚焦度量的图像。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，对所述激光束(19)的直径确定尺寸，使得所述物镜(3)的整个孔径被照射。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中，所述部分区域小于探测面的1/10。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述部分区域小于探测面的1/100。

11.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中，在所述物镜(3)与所述探测面(29)之间的探测光束路径中设置有透镜或透镜系统(6)，所述透镜或透镜系统将所述物镜(3)的焦平面(27)成像到探测面(29)上。