[发明专利]滚动轴承和用于制造滚动轴承的方法

说明书

滚动轴承(30)设有：内环(31)；外环(32)；以及介入在内环(31)与外环(32)之间的多个滚珠(33)。内环(31)和外环(32)由不锈钢制成。内环(31)和外环(32)的与滚珠(33)滚动接触的相应滚道表面(34、35)是超精整表面，且在超精整表面上形成包括固体润滑膜的涂层(36、37)。

技术领域

本发明的形态涉及滚动轴承和用于制造滚动轴承的方法。

背景技术

虽然滚动轴承被用于各种设备中，但作为在轴承环(内环、外环)上形成有固体润滑膜的涂层的滚动轴承，例如，存在用于涡轮分子泵的触地轴承(例如，参见专利文献1)。

触地轴承与磁性轴承一起设置，并且在旋转轴的正常旋转期间，旋转轴由磁性轴承支撑，并且触地轴承不与旋转轴接触。相反，例如，当磁性轴承变得不可控制时，旋转轴与触地轴承的轴承环接触(触地)并被支撑直到其停止旋转为止，因此磁性轴承和旋转轴受到保护。

当轴承如涡轮分子泵的触地轴承一样在真空下使用时，使用固体润滑剂，这是因为油脂或油无法用作润滑剂。此外，因为防锈油无法用于轴承环，所以不锈钢通常用于轴承环。

相关技术文献

专利文献

专利文献1：JP-A-2009-024846

发明内容

发明解决的问题

当用固体润滑膜涂布轴承环的表面时，期望增大其粘合性。然而，当轴承环由不锈钢制成时，磷酸盐处理不能作为涂层的预处理来执行。因此，在现有技术中，喷丸作为轴承环的预处理来执行。以此方式，滚动轴承(触地轴承)的润滑通过以下方式来确保：在轴承环的表面上(特别地，在滚动元件与之滚动接触的滚道表面上)用固体润滑膜形成涂层。

代表用于涡轮分子泵的触地轴承，优选改进各种滚动轴承的重复寿命。出于此原因，研究固体润滑膜对改进涂层的粘合性的作用。

本发明的形态的目的是提供一种滚动轴承和用于制造该滚动轴承的方法，该滚动轴承能够通过新技术手段来增大涂层的粘合性并且还具有滚动轴承的基本性能。

解决问题的手段

本发明的发明人已发现时，甚至当轴承环(内环、外环)的滚道表面是超精整表面时，也能够通过在一定程度上增大表面粗糙度(通过形成粗糙镜面)来增大固体润滑膜对涂层的粘合性。基于此知识，完成本发明的形态。

也就是说，根据本发明的一种形态提供的滚动轴承包含：内环；外环；以及多个滚动元件，所述多个滚动元件介入在所述内环与所述外环之间，其中所述内环和所述外环由不锈钢制成，并且在所述内环和所述外环中的每一个中设置滚道表面，所述滚动元件与所述滚道表面滚动接触，并且所述滚道表面是超精整表面，并且此外在所述超精整表面上形成由固体润滑膜制成的涂层。

根据滚动轴承，涂层的粘合性在滚道表面上较高，并且因此，能够延长滚动轴承的寿命。此外，因为滚道表面是超精整表面(即使在其表面粗糙度在一定程度上较高时也是如此)，所以能够抑制诸如旋转期间的振动的发生等问题并且具有作为滚动轴承的基本性能。

不同于滚动轴承，存在滚道表面是喷丸表面(缎面精整表面)并且在喷丸表面上通过固体润滑膜形成涂层的示例。然而，在滚动轴承(本发明的形态)的状况下，涂层具有高粘合性的原因估计在于，超精整表面(精细镜面)的表面条件以与喷丸表面相同的方式或比喷丸表面好的方式与固体润滑膜兼容。

此外，优选的是：在所述内环和所述外环中，接触表面是喷丸表面，所述接触表面是除了所述滚道表面之外的表面，并且所述接触表面与另一构件接触，并且在所述喷丸表面上通过固体润滑膜形成涂层。根据此构造，甚至在除滚道表面之外的表面上也增大涂层的粘合性。除了滚道表面之外并且除了接触表面之外的表面也是喷丸表面，并且可以在喷丸表面上形成由固体润滑膜制成的涂层。