[发明专利]用于监视泵送装置的运转状态的方法

权利要求书

1.一种用于监视与处理室(2)相连的泵送装置(5)的运转状态以便确定所述泵送装置(5)的故障运转状态的方法，所述泵送装置(5)包括至少一个粗真空泵(7)，所述粗真空泵包括：

-用于驱动所述粗真空泵(7)的马达(M1)，以及

-变速驱动器(12)，该变速驱动器构造成控制所述马达(M1)的转速，并且构造成一方面接收与设定点频率(C)对应的第一输入参数和与马达电流(i)对应的第二输入参数且另一方面向所述马达(M1)传送与控制频率(F)对应的输出参数，马达电流(i)是马达(M1)消耗的电流，

其特征在于，当在稳态运转(H)中所述第一输入参数与所述输出参数之差等于或超过所述第一输入参数的10％持续大于3秒的预定时间(T)时，确定为故障运转状态，由变速驱动器所传送的与控制频率(F)对应的输出参数与第一输入参数和第二输入参数相关，在判定即将发生的故障的情况下，切断布置在处理室与泵送装置之间的隔离阀和/或切断气体向处理室中的到达。

2.根据前一权利要求所述的方法，其中，当在稳态运转(H)中所述第一输入参数与所述输出参数之差等于或超过所述第一输入参数的4％持续所述预定时间(T)时，确定为故障运转状态。

3.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述预定时间(T)大于10秒。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述预定时间(T)小于30秒。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在起动所述粗真空泵(7)时，控制所述变速驱动器(12)以便逐渐升高控制频率(F)，直至达到所述设定点频率(C)。

6.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在稳态运转(H)中，所述设定点频率(C)至少在大于或等于所述预定时间(T)的时间内是恒定的。

7.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，当所述控制频率(F)升高并且所述马达电流(i)超过加速电流阈值(S1)时，所述变速驱动器(12)阻止所述控制频率(F)的升高。

8.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，当所述变速驱动器(12)处于稳态运转(H)中并且所述马达电流(i)超过运转电流阈值(S2)时，所述变速驱动器(12)使所述控制频率(F)降低。

9.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，当所述第一输入参数与所述输出参数之差等于或超过所述第一输入参数的90％持续大于一分钟的预定时间(T)时，触发警告或警报。

10.一种泵送装置(5)，包括至少一个粗真空泵(7)，该粗真空泵包括：

-用于驱动所述粗真空泵(7)的马达(M1)，以及

-变速驱动器(12)，该变速控制器构造成控制所述马达(M1)的转速，并且构造成一方面接收与设定点频率(C)对应的第一输入参数和与马达电流(i)对应的第二输入参数且另一方面向所述马达(M1)传送与控制频率(F)对应的输出参数，

其特征在于，所述泵送装置(5)包括监视单元(13)，所述监视单元构造成按照根据前述权利要求中任一项所述的方法来监视泵送装置(5)的运转状态。

11.根据前一权利要求所述的泵送装置(5)，其特征在于，所述泵送装置包括罗茨鼓风机(11)，所述罗茨鼓风机与所述粗真空泵(7)串联地安装在该粗真空泵的上游侧。

12.一种包括处理室(2)的设备(1)，该处理室通过管道(3)连接至根据权利要求10或11所述的泵送装置(5)的吸入口。