[发明专利]使用特征量的三维测量方法及其装置

权利要求书

1.一种测量方法，其用于求出测量对象物表面的空间坐标，其特征在于，包含以下步骤：

包含三个以上的特征量的多个组，从多个位置向测量对象物表面投影图案或上述图案的变化，上述多个位置是以上述三个以上的特征量的各个组在测量区域内或上述测量区域内的部分区域内与各空间坐标成为一对一的对应关系的方式配置的多个位置；

对已投影到上述测量对象物表面的上述图案或上述图案的变化进行拍摄；以及

使用预先使用基准物体求出的上述三个以上的特征量的各组与上述空间坐标的关系，根据基于上述拍摄到的图像而得到的三个以上的特征量的组，求出上述空间坐标。

2.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，

将上述三个以上的特征量的各组与上述各空间坐标的关系表格化，在测量上述测量对象物表面的空间坐标时，根据参照了上述表格的值来求出上述测量对象物表面的空间坐标。

3.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，

将上述三个以上的特征量的各组与上述各空间坐标的关系中的一部分关系表格化，在测量上述测量对象物表面的空间坐标时，使用参照了上述表格的值进行插值，由此求出上述测量对象物表面的空间坐标。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的测量方法，其特征在于，

通过使从上述多个位置投影的光的波长为多个波长来同时得到多个特征量，以求出上述测量对象物表面的空间坐标。

5.根据权利要求1～3中的任意一项所述的测量方法，其特征在于，

将上述多个位置并排配置成一列，以求出上述测量对象物表面的空间坐标。

6.根据权利要求1～3中的任意一项所述的测量方法，其特征在于，

关于上述三个以上的特征量的组与上述各空间坐标的关系，从上述多个位置向上述基准物体的表面，对上述多个位置与上述基准物体之间的距离进行变更以多个间隔投影上述图案或上述图案的变化，从而求出三个以上的特征量的组与空间坐标的关系。

7.根据权利要求6所述的测量方法，其特征在于，

在上述基准物体的表面固定栅格图案或标记，以求出三个以上的特征量的组与空间坐标的关系。

8.根据权利要求6所述的测量方法，其特征在于，

通过使从上述多个位置投影的光的波长为多个波长来求出三个以上的特征量的组与空间坐标的关系。

9.根据权利要求6所述的测量方法，其特征在于，

将上述多个位置并排配置成一列，以求出三个以上的特征量的组与上述空间坐标的关系。

10.一种测量方法，其特征在于，

包含三个以上的特征量的多个组，从多个位置向基准物体表面，对上述多个位置与上述基准物体之间的距离进行变更以多个间隔投影图案或上述图案的变化来求出三个以上的特征量的组与空间坐标的关系，上述多个位置是以上述三个以上的特征量的各组在测量区域内或上述测量区域内的部分区域内与各空间坐标成为一对一的对应关系的方式配置的多个位置。

11.根据权利要求10所述的测量方法，其特征在于，

在上述基准物体表面固定栅格图案或标记，以求出三个以上的特征量的组与空间坐标的关系。

12.根据权利要求10或11所述的测量方法，其特征在于，

通过使从上述多个位置投影的光的波长为多个波长来求出三个以上的特征量的组与空间坐标的关系。

13.根据权利要求10或11所述的测量方法，其特征在于，

将上述多个位置并排配置成一列，以求出三个以上的特征量的组与上述空间坐标的关系。