[发明专利]用于测定气体参数的传感器

权利要求书

1.一种传感器，其具有：

至少一个全陶瓷加热器(3，3')，所述至少一个全陶瓷加热器(3，3')包含至少一个导电陶瓷和至少一个电绝缘陶瓷，所述导电陶瓷由陶瓷粉末形成，所述陶瓷粉末包括硅化物、碳酸盐和/或氮化物粉末、和至少一个选自由钨、钽、铌、钛、钼、锆、铪、钒和/或铬基团组成的元素，其中所电绝缘陶瓷由导热的陶瓷粉末形成，所述导热的陶瓷粉末包括氮化硅和/或氮化铝，且其中所述电绝缘陶瓷至少局部地包围所述导电陶瓷；和

至少一个第一传感器结构(9)，其至少局部地布置在所述全陶瓷加热器(3，3')的第一侧上。

2.根据权利要求1所述的传感器，其中：

所述导电陶瓷在至少两个相互分离的位置上与电极(5a，5a'，5b，5b')接触，和所述电绝缘陶瓷完全地包围所述导电陶瓷。

3.根据权利要求1或2所述的传感器，其中所述全陶瓷加热器(3，3')具有0.3mm至3mm的厚度。

4.根据权利要求3所述的传感器，其中所述厚度为0.5mm至1.5mm。

5.根据权利要求1或2所述的传感器，其中所述传感器具有：

至少一个至少局部地布置在所述全陶瓷加热器(3，3')的第一侧上的第一绝缘层(7)，和/或

至少一个至少局部地布置在所述全陶瓷加热器(3，3')的与所述第一侧相对布置的第二侧上的第二绝缘层(7')。

6.根据权利要求5所述的传感器，其中所述第一绝缘层(7)和/或所述第二绝缘层(7')包括电绝缘陶瓷。

7.根据权利要求1或2所述的传感器，其进一步具有布置在所述全陶瓷加热器(3，3')的所述第一侧上或第二侧上的第二传感器结构(9')，所述第一传感器结构(9)和所述第二传感器结构(9')中的至少一者包括至少一个用于温度测量的电阻结构。

8.根据权利要求7所述的传感器，其中所述至少一个用于温度测量的电阻结构是回形的测量电阻。

9.根据权利要求1或2所述的传感器，其进一步具有布置在所述全陶瓷加热器(3，3')的所述第一侧上或第二侧上的第二传感器结构(9')，所述第一传感器结构(9)和所述第二传感器结构(9')中的至少一者包括至少一个用于测量碳烟粒子的沉积物的浓度的梳状结构，IDK结构。

10.根据权利要求1或2所述的传感器，其进一步具有布置在所述全陶瓷加热器(3，3')的所述第一侧上或第二侧上的第二传感器结构(9')，所述第一传感器结构(9)和所述第二传感器结构(9')中的至少一者包括至少一个电加热元件和至少一个用于风力测量的温度传感器。

11.根据权利要求1或2所述的传感器，其进一步具有布置在所述全陶瓷加热器(3，3')的所述第一侧上或第二侧上的第二传感器结构(9')，所述第一传感器结构(9)和所述第二传感器结构(9')中的至少一者包括至少一个铂材料。

12.根据权利要求1或2所述的传感器，其进一步具有布置在所述全陶瓷加热器(3，3')的所述第一侧上或第二侧上的第二传感器结构(9')，其中所述传感器进一步具有：

至少一个至少局部地布置在所述第一传感器结构(9)上的第一陶瓷中间层(11)；和/或

至少一个至少局部地布置在所述第二传感器结构(9')上的第二陶瓷中间层(11')，其中所述第一(11)和/或第二(11')陶瓷中间层包括氧化铝和/或氧化镁。

13.根据权利要求12所述的传感器，其中所述传感器具有：

至少一个至少局部地布置在所述第一陶瓷中间层(11)上的第一覆盖层(13)；和/或

至少一个至少局部地布置在所述第二陶瓷中间层(11')上的第二覆盖层(13')。