[发明专利]测量设备平衡件

权利要求书

1.一种定位设备，所述定位设备包括能够在其上安装探针设备的套筒轴、用于使所述套筒轴在基本上竖直的维度上定位的至少一个马达、以及用于所述套筒轴的气动平衡机构，其中，所述定位设备被配置为基于与所述套筒轴有关的至少一个因素而自动实现所述气动平衡机构的压力的变化，从而调节所述套筒轴上的由所述气动平衡机构提供的平衡力。

2.如任一前述权利要求所述的定位设备，其中所述至少一个马达包括直接驱动马达，可选地是线性马达。

3.如权利要求1或2所述的定位设备，其中所述至少一个因素与所述套筒轴的实际竖直位置或预期竖直位置有关。

4.如任一前述权利要求所述的定位设备，进一步包括用于测量所述套筒轴的竖直位置的一个或多个位置编码器，并且其中所述至少一个因素包括来自所述一个或多个位置编码器中的至少一个位置编码器的输出。

5.如任一前述权利要求所述的定位设备，其中所述至少一个因素与所述至少一个马达的实际功率需求或预期功率需求有关。

6.如任一前述权利要求所述的定位设备，其中所述至少一个因素与所述套筒轴的实际行进方向或预期行进方向有关。

7.如权利要求6所述的定位设备，所述定位设备被配置为调节所述气动平衡机构的压力，以便辅助所述马达使所述套筒轴在所述行进方向上移动。

8.如任一前述权利要求所述的定位设备，其中所述至少一个因素与比如探针等已装载或要装载在所述套筒轴上的至少一个模块有关。

9.如权利要求8所述的定位设备，其中所述至少一个因素与所述至少一个模块的重量有关。

10.如权利要求8或9所述的定位设备，其中通过对所述装载在所述套筒轴上的模块对于所述坐标定位设备的影响进行评估来确定所述至少一个因素。

11.如任一前述权利要求所述的定位设备，包括压力调节器，所述压力调节器被配置为将所述气动平衡机构的压力维持在设定压力，并且其中所述设备被配置为基于所述至少一个因素来改变所述设定压力。

12.如任一前述权利要求所述的定位设备，其中根据查找表和/或函数来确定所述气动平衡机构的压力的变化。

13.如任一前述权利要求所述的定位设备，所述定位设备被配置为响应于所述套筒轴上的载荷的预期变化或测量变化而自动调节所述气动平衡机构的压力。

14.如任一前述权利要求所述的定位设备，其中所述定位设备包括笛卡尔坐标定位设备。

15.一种定位设备的操作方法，所述定位设备包括能够在其上安装探针设备的套筒轴、用于使所述套筒轴在基本上竖直的维度上移动的至少一个马达、以及用于所述套筒轴的气动平衡机构，所述方法包括基于所述套筒轴的状态而自动实现所述气动平衡机构的压力的变化，从而调节所述套筒轴上的由所述气动平衡机构提供的平衡力。

16.一种定位设备，包括：能在基本上竖直的自由度上相对移动的第一构件和第二构件，其中能量导管连接到所述第一构件和所述第二构件中的至少一者，其中，在所述第一构件和所述第二构件的自由度上由所述能量导管施加在所述构件中的至少一个与之相连的构件上的载荷根据所述第一构件和所述第二构件的相对位置而变化，并且所述定位设备进一步包括气动平衡件，所述气动平衡件被配置为在所述第一构件和所述第二构件的自由度上施加载荷，所述载荷根据所述第一构件和所述第二构件的相对位置而变化，与所述能量导管所施加的载荷相反，这种载荷变化是通过改变所述气动平衡件的气压来实现的。