[发明专利]光纤多孔质母材的制造装置及制造方法有效
申请号: | 201880020381.6 | 申请日: | 2018-03-14 |
公开(公告)号: | CN110461783B | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 东泽辰行;品田政一;中岛理树 | 申请(专利权)人: | 古河电气工业株式会社 |
主分类号: | C03B37/018 | 分类号: | C03B37/018 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光纤 多孔 质母材 制造 装置 方法 | ||
一种光纤多孔质母材的制造装置,能够抑制辅助燃烧器的火焰被吹动,从而充分进行多孔质母材的烧结紧固,抑制玻璃化工序中的多孔质母材的裂纹发生。所述光纤多孔质母材的制造装置,具备设于反应容器内的至少一根主燃烧器,和向主燃烧器供给原料气体和可燃气体的气体供给部,在反应容器内,从主燃烧器向起始材料供给含有可燃气体和原料气体的气体,并使主燃烧器对于起始材料相对地移动,在起始材料的外周使微粒堆积,从而形成多孔质母材,其中,具备加热多孔质母材的端部的至少一根辅助燃烧器,和设于辅助燃烧器的近旁的气流导引机构。
技术领域
本发明涉及具有辅助燃烧器的光纤多孔质母材的制造装置及制造方法。
背景技术
一般来说,石英玻璃系光纤是将石英玻璃所形成的光纤母材进行拉丝而制造。光纤母材可通过如下方式制造,在目标物(起始材料)的外周堆积玻璃微粒而形成多孔质层后,使多孔质层脱水、烧结而玻璃化。在此,多孔质层由OVD(Outside Vapor Deposition)装置等形成。
在OVD装置中,向设于反应容器内的玻璃微粒合成用燃烧器中导入可燃性气体、助燃性气体及玻璃原料,使之发生火焰水解反应,使反应所生成的玻璃微粒堆积在旋转的目标物的半径方向。由此,在目标物的外周形成多孔质层,来制造作为光纤母材的基础的光纤多孔质母材(以下,也称为多孔质母材)。在制造该多孔质母材时,可知除了玻璃微粒合成用燃烧器以外,还使用进行用于烧结紧固多孔质母材的两端部的加热的辅助燃烧器(参照专利文献1)。通过使用辅助燃烧器烧结紧固多孔质母材的端部,可抑制被堆积的多孔质层的开裂(裂纹)和从目标物上剥落。
先行技術文献
专利文献
专利文献1:日本特开2003-165738号公报
可是,在制造多孔质母材后的玻璃化工序中,使多孔质母材玻璃化时,有发生裂纹的情况。本发明人对于裂纹的发生原因进行锐意研究,发现原因之一是,在制造多孔质母材时,辅助燃烧器的火焰被OVD装置的反应容器内的进气风吹动。所谓进气风,是为了将反应容器内虽被生成但未堆积在目标物上的剩余的玻璃微粒排出到反应容器外,而流入到反应容器内的气流。若辅助燃烧器的火焰被该气流吹动,则多孔质母材的端部的加热部分发生变动,因此产生烧结紧固不足的可能性。若多孔质母材的烧结紧固不足,则在之后的玻璃化工序中,多孔质母材自身无法耐受多孔质母材收缩时产生的应力,会有发生裂纹的情况。
发明内容
本发明鉴于而做,其目的在于,提供一种抑制辅助燃烧器的火焰被吹动,能够充分进行光纤多孔质母材的端部的烧结紧固,能够抑制之后的玻璃化工序中的光纤多孔质母材发生裂纹的光纤多孔质母材的制造装置及制造方法。
为了解决上述课题,达成上述目的,本发明的光纤多孔质母材的制造装置,其特征在于,具备反应容器、设于所述反应容器内的至少一根主燃烧器以及向所述主燃烧器供给原料气体和可燃气体的气体供给部,在所述反应容器内,从所述主燃烧器向起始材料供给含有所述可燃气体和所述原料气体的气体,并使所述主燃烧器对于所述起始材料相对地移动,在所述起始材料的外周使由所述气体的反应而生成的微粒堆积从而形成多孔质母材,所述光纤多孔质母材的制造装置具备:加热所述多孔质母材的端部的至少一根辅助燃烧器;设于所述辅助燃烧器的近旁的气流导引机构。
本发明的一个方式的光纤多孔质母材的制造装置,根据上述发明,其特征在于,所述气流导引机构在所述辅助燃烧器放射的火焰的放射侧开口,并且,具有对于所述辅助燃烧器,覆盖与所述放射侧的相反侧和从所述放射侧看到的侧面侧的形状。
本发明的一个方式的光纤多孔质母材的制造装置,根据上述发明,其特征在于,在所述气流导引机构中,开口的部分位于所述反应容器内生成的气流的下游侧。
本发明的一个方式的光纤多孔质母材的制造装置,根据上述发明,其特征在于,所述辅助燃烧器相对于所述起始材料的位置被固定。
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