[发明专利]超声波清洗装置和超声波清洗方法

权利要求书

1.一种超声波清洗装置，其中，

该超声波清洗装置包括：

处理槽，其收纳用于清洗被清洗物的清洗液，所述被清洗物浸渍于该处理槽；

超声波施加机构，其用于对保持于所述处理槽的内部的所述清洗液施加超声波；以及

曲面构件，其为多个，其与所述超声波施加机构的振动面相对并且位于自该振动面的端部处的法线方向向外侧以预定的倾斜角限定的范围内，将该曲面构件保持于所述处理槽的壁面和/或底面，该多个曲面构件隔开预定的间隔地配置并且不具有使超声波聚焦的凹部，

所述曲面构件具有凸曲面，在该凸曲面至少存在具有球面或非球面的表面形状的凸弯曲部，该凸弯曲部成为比除所述凸弯曲部以外的部分向所述振动面侧突出的状态，

以自所述超声波施加机构照射出且没有发生反射的声波即第一声波的至少一部分到达所述凸曲面的所述凸弯曲部的方式以所述凸曲面朝向所述振动面的状态对该曲面构件进行保持，

在将所述超声波的波长设为λ时，所述凸曲面的所述凸弯曲部的最大高度H满足λ/2＜H的关系，

多个所述曲面构件彼此的分开距离L相对于该曲面构件的凸弯曲部的最大高度H而言满足3H＜L的关系。

2.根据权利要求1所述的超声波清洗装置，其中，

所述倾斜角的大小为0度以上且30度以下。

3.根据权利要求1或2所述的超声波清洗装置，其中，

所述曲面构件的所述凸弯曲部相对于位于基于所述振动面而限定的所述范围内的所述曲面构件的总表面积而言具有30％以上的面积比。

4.根据权利要求1或2所述的超声波清洗装置，其中，

所述曲面构件的所述凸弯曲部相对于所述处理槽的位于基于所述振动面而限定的所述范围内的壁面和/或底面的总面积而言具有1％以上且80％以下的面积比。

5.根据权利要求1或2所述的超声波清洗装置，其中，

配置有所述曲面构件的所述壁面和/或所述底面不具有凹部。

6.根据权利要求1或2所述的超声波清洗装置，其中，

所述振动面与所述曲面构件的所述凸曲面处的赋予所述凸弯曲部的最大高度的位置之间的分开距离D为5cm以上且250cm以下。

7.根据权利要求1或2所述的超声波清洗装置，其中，

所述曲面构件是由声阻抗为1×10⁷以上且2×10⁸以下的材料形成的曲面构件，所述声阻抗的单位是kg·m^－2·sec^－1。

8.根据权利要求1或2所述的超声波清洗装置，其中，

该超声波清洗装置还包括溶解气体控制机构，该溶解气体控制机构用于对保持于所述处理槽的所述清洗液中的溶解气体量进行控制。

9.根据权利要求8所述的超声波清洗装置，其中，

所述溶解气体控制机构用于进行控制以使所述溶解气体量成为所述清洗液的溶解饱和量的1％～50％。

10.根据权利要求1或2所述的超声波清洗装置，其中，

该超声波清洗装置还包括小气泡供给机构，该小气泡供给机构用于向保持于所述处理槽的所述清洗液中供给具有预定的平均气泡直径的小气泡。

11.根据权利要求10所述的超声波清洗装置，其中，

所述小气泡供给机构用于将平均气泡直径为0.01μm～100μm的所述小气泡以气泡总量成为10³个/mL～10¹⁰个/mL的方式供给。