[发明专利]光模块

说明书

光模块包括光学元件与安装有上述光学元件的基部。上述光学元件具有：具有光学面的光学部；以形成环状区域的方式设于上述光学部的周围的弹性部；以在沿上述光学面的第1方向上夹着上述光学部的方式设置且响应于上述弹性部的弹性变形而被赋予弹性力并且彼此的距离可变的一对支承部。上述基部具有：主面、设有与上述主面连通的开口的安装区域。上述支承部在被赋予上述弹性部的弹性力的状态下插入上述开口。上述光学元件在上述光学面与上述主面交叉的状态下，由从上述开口的内面赋予上述支承部的上述弹性力的反力而支承于上述安装区域。

技术领域

本发明的一方面涉及光模块。

背景技术

已知利用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems(微机电系统))技术在SOI(Silicon On Insulator(绝缘体上硅))基板形成有干涉光学系统的光模块(例如，参照专利文献1)。这样的光模块由于能够提供实现高精度的光学配置的傅立叶变换型红外分光分析仪(FTIR)而受到注目。

在专利文献2中记载了光学系统的制造工艺。该工艺中，首先，准备模板基板以及光具座。在模板基板，由蚀刻形成对准狭缝。在光具座的主面配置焊盘。接着，将模板基板安装于光具座的主面，以将对准狭缝配置于焊盘上。接着，一边使用对准狭缝的侧壁对光学要素进行定位一边将其插入对准狭缝，使其位于焊盘上。于是，通过焊盘的回流而将光学要素粘接于光具座。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2012－524295号公报

专利文献2：美国专利申请公开第2002/0186477号说明书

发明内容

发明所要解决的问题

上述那样的光模块中，例如在可动镜的大小依赖于对SOI基板的深沟加工的达成度方面存在如下课题。即，因为对SOI基板的深沟加工的达成度最大也就500μm左右，因此，在增大可动镜的大小来提高FTIR的灵敏度时存在极限。于是，考虑将分体形成的可动镜安装于器件层(例如在SOI基板中形成有驱动区域的层)的技术。

对此，若在制作专利文献1所述的MEMS器件时使用专利文献2所述的工艺，则成为相对于与致动器连接且被设为可动的安装区域，通过焊盘的回流来粘接并安装可动镜这样的光学要素。在该情况下，存在焊盘的粘接对安装区域的驱动造成不良影响的风险。因此，根据光学要素的安装区域的特性，存在不能适用专利文献1所记载的工艺的情况。

本公开的一方面的目的在于提供一种能够不论安装区域的特性均可靠地安装光学元件的光模块。

解决课题的技术手段

本公开的一方面所涉及的光模块，包括光学元件与安装有光学元件的基部，光学元件具有：具有光学面的光学部；以形成环状区域的方式设于光学部的周围的弹性部；以在沿光学面的第1方向上夹着光学部的方式设置、且响应于弹性部的弹性变形而被赋予弹性力并且彼此的距离可变的一对支承部，基部具有：主面、设有与主面连通的开口的安装区域，支承部在被赋予弹性部的弹性力的状态下插入开口。光学元件在光学面与主面交叉的状态下，由从开口的内面赋予支承部的弹性力的反力支承于安装区域。

在该光模块中，光学元件具有：弹性部、彼此的距离响应于弹性部的弹性变形而可变的一对支承部。另一方面，在安装有光学元件的基部的安装区域，形成有与主面连通的开口。因此，作为一例，通过在使弹性部弹性变形而使支承部间的距离缩小的状态下将支承部插入开口，释放弹性部的弹性变形的一部分，从而在开口内支承部彼此的距离扩大，可使支承部抵接于开口的内面。由此，光学元件由从开口的内面赋予支承部的反力支承。如此，在该光模块中，利用弹性力将光学元件安装于基部。因此，可不考虑粘接剂的不良影响等，即，不论安装区域的特性均能够可靠地安装光学元件。