[发明专利]电荷产生元件及微粒数检测器

说明书

电荷产生元件20在电介质层22的表面22a具有放电电极24，在背面22b具有感应电极26，如果向放电电极24与感应电极26之间外加电压，则通过放电而产生电荷。放电电极24具有：平坦的基面24a、以及从该基面24a鼓起得到的形状的膨出面24b，放电电极24的基面24a与膨出面24b所成的棱角E的角度θ为5°～45°。

技术领域

本发明涉及电荷产生元件及微粒数检测器。

背景技术

作为微粒数检测器，已知如下微粒数检测器，即，在电荷产生元件处通过电晕放电而产生离子，利用该离子使被测定气体中的微粒带电，利用捕集电极捕集已带电的微粒，个数测定器基于所捕集到的微粒的电荷的量来测定微粒数(例如参见专利文献1)。另外，作为电荷产生元件，已知如下电荷产生元件，其中，放电电极和感应电极设置成隔着电介质层而对置(例如参见专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2015/146456号小册子

专利文献2：日本特开2009－31606号公报

发明内容

然而，放电电极的端部(侧面)形成为与设置有放电电极的电介质层的表面垂直，因此，电场不易集中，为了使其为发生放电的电场强度而必须提高外加电压。

本发明是为了解决上述课题而实施的，其主要目的在于，降低用于产生电荷的放电电极与感应电极之间的电压。

本发明的电荷产生元件是如下电荷产生元件，

在电介质层的一面具有放电电极，在所述电介质层的另一面或内部具有感应电极，如果向所述放电电极与所述感应电极之间外加电压，则通过放电而产生电荷，其中，

所述放电电极具有：平坦的基面、以及从该基面鼓起得到的形状的膨出面，所述放电电极的基面与膨出面所成的棱角的角度θ为5°～45°。

该电荷产生元件中，放电电极具有：平面形状的基面、以及从该基面鼓起得到的形状的膨出面，放电电极的基面与膨出面所成的棱角的角度θ为5°～45°(优选为10°～30°)。即，放电电极的厚度朝向棱角而逐渐变薄。因此，与角度θ为90°的情况相比，电场容易集中于放电电极的棱角。因此，能够降低用于产生电荷的放电电极与感应电极之间的电压。

应予说明，本说明书中，所谓“电荷”，除了包含正电荷和负电荷以外，还包含离子。另外，“从基面鼓起得到的形状”可以为从基面朝向电介质层的内侧鼓起得到的形状，也可以为从基面朝向电介质层的外侧鼓起得到的形状。

本发明的电荷产生元件中，可以为，所述电介质层由陶瓷制成，所述放电电极和所述电介质层通过烧结而接合，或者，通过无机系粘接剂而接合。由此，与将放电电极和电介质层利用有机材料进行接合的情况相比，耐热性升高。

本发明的电荷产生元件中，可以为，所述放电电极的所述基面与所述电介质层的所述一面为同一平面，所述膨出面从所述基面朝向所述电介质层的内侧鼓起。由此，与膨出面从基面朝向电介质层的外侧鼓起得到的形状的情况相比，异物不易堆积。该放电电极的基面可以被绝缘性的保护层覆盖。由于放电电极的基面与电介质层的一面为同一平面，所以能够通过印刷等而均匀且不产生空隙地形成保护层。

本发明的电荷产生元件中，可以为，所述放电电极的所述基面与所述电介质层的所述一面为同一平面，所述膨出面从所述基面朝向所述电介质层的外侧鼓起。由此，与截面长方形的放电电极相比，异物不易堆积。该放电电极的膨出面可以被绝缘性的保护层覆盖。由于放电电极的膨出面为与截面长方形的放电电极相比平缓的形状，所以能够通过印刷等而比较良好地形成保护层。

本发明的微粒数检测器具备：

上述任意一种电荷产生元件，该电荷产生元件向被导入至通气管内的气体中的微粒附加电荷；以及