[发明专利]包括多个VCSEL的光源阵列

权利要求书

1.一种光源阵列（1），包括在衬底（3）之上彼此横向布置的多个VCSEL（2），其中每个VCSEL（2）包括由不发射光的电极结构（22）包围的发光区域（21），其中遮挡层（4）被涂敷在至少所述电极结构（22）之上，所述遮挡层（4）仅覆盖所述电极结构（22）的面向所述VCSEL（2）的一般发光方向（5）的表面（22s），所述遮挡层（4）是不透明层，并且被适配为将不发射光的关闭状态下的所述阵列（1）与所述光源阵列（1）要被安装于其中的设备（10）的外壳（11）的外表面（11s）光学匹配。

2.根据权利要求1所述的光源阵列（1），其中所述电极结构（22）的所有可见表面（22s、22l）被所述遮挡层（4）涂覆。

3.根据权利要求1所述的光源阵列（1），其中所述光源阵列（1）包括相邻VCSEL（2）之间的非有源区域（6），其中所述遮挡层（4）也覆盖所述非有源区域（6）。

4.根据权利要求3所述的光源阵列（1），其中所述非有源区域（6）限定相邻VCSEL（2）之间的体积（61），其中至少所述体积（61）被填充物材料（7）适当地填充，以在相邻VCSEL（2）之间提供待被涂覆有所述遮挡层（4）的平坦表面（71）。

5.根据权利要求4所述的光源阵列（1），其中所述填充物材料（7）是光致抗蚀剂材料。

6.根据权利要求4所述的光源阵列（1），其中所述填充物材料（7）将至少一个体积（61）填充到所述衬底（3）上方的所述相邻VCSEL（2）的所述电极结构（22）的最高距离（D1）。

7.根据前述权利要求中任一项所述的光源阵列（1），其中所述遮挡层（4）具有可见波长范围内的吸收或反射光谱，所述吸收或反射光谱与所述电极结构（22）的材料的对应吸收或反射光谱不同。

8.根据权利要求7所述的光源阵列（1），其中所述电极结构（22）的所述材料是金。

9.一种设备（10），包括至少一个根据权利要求1所述的光源阵列（1）和具有外表面（11s）的外壳（11），其中所述遮挡层（4）将关闭状态下的所述阵列（1）与所述外表面（11s）光学匹配。

10.一种用来制造根据权利要求1所述的光源阵列（1）的方法（100），包括以下步骤：

-以横向阵列（1）在衬底（3）之上布置（110）多个VCSEL（2），其中每个VCSEL（2）包括由不发射光的电极结构（22）包围的发光区域（21）；

-至少在所述电极结构（22）之上涂敷（140）作为不透明层的遮挡层（4），所述遮挡层（4）仅覆盖所述电极结构（22）的面向所述VECSEL（2）的一般发光方向（5）的表面（22s），以便将关闭状态下的所述阵列（1）与所述光源阵列（1）要被安装于其中的设备（10）的外壳（11）的外表面（11s）光学匹配。

11.根据权利要求10所述的方法（100），其中在涂敷（140）所述遮挡层（4）的步骤之前，所述方法还包括以下步骤：

-在涂敷（140）所述遮挡层之前，利用光致抗蚀剂材料覆盖（120）所述发光区域（21）；和

-在已经涂敷所述遮挡层之后，清洗掉（160）覆盖所述发光区域（21）的光致抗蚀剂层，以便去除所述发光区域（21）之上的任何材料。

12.根据权利要求10或11所述的方法（100），其中涂敷（140）所述遮挡层（4）的步骤还将涂覆位于相邻VCSEL（2）之间的所述阵列（1）内的非有源区域（6）。