[发明专利]高压放电灯有效

专利信息
申请号: 201880009946.0 申请日: 2018-01-31
公开(公告)号: CN110249267B 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 原田智纪;川岛洋德;榎本芳幸;吉本芳幸;富樫工 申请(专利权)人: 株式会社V技术
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;H01J61/36;H01J61/52;H01J61/86
代理公司: 北京奉思知识产权代理有限公司 11464 代理人: 邹轶鲛;石红艳
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 高压 电灯
【说明书】:

绝缘体(30)具有将形成在发光管(10)的另一个侧管部(15)与反射器(20)的插入孔(23)之间的空间(s)与外部连通的开放部(34),另外,一个侧管部(14)的长度(L1)比另一个侧管部(15)的长度(L2)长。由此,提供一种能够提高冷却效率,并实现光照强度提升的高压放电灯。

技术领域

本发明涉及一种高压放电灯,更详细而言,涉及一种构成曝光装置的多灯的光源部的高压放电灯。

背景技术

近年,在制造平板显示装置的彩色滤光片、印刷布线基板时使用的曝光装置中,由于寻求曝光范围的扩大,所以需要光源部的输出也提高。因此,已知各种使用多个在制造成本等方面有利的光照强度比较低的高压放电灯来构成光源部的技术(例如,参照专利文献1)。

如图8所示,作为现有的高压放电灯100,主要具备:放电并发光的发光管110;使从发光管110发出的光具有指向性并出射的反射器120;固定发光管110和反射器120的绝缘体130;以及与发光管110电连接的线束140。在发光管110内设置有:具有内部空间的发光部111,该内部空间被封入有卤素气体、水银、启动用氩气等;一对密封部112、113,其密封发光部111的内部空间;以及在发光部111内互相对置配置的一对电极114、115。

另外,在专利文献1中记载的光源装置中,为了能够高精度、短时间且低成本地检查放电灯100是否是正品,在绝缘体130的内部设置有白炽灯131。

而且,在专利文献2中记载的光照射装置中,记载有在将多个灯定位在盒体而使用的构成中,在各灯的基体部件形成用于冷却各灯的冷却路径。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2016-200751号公报

专利文献2:日本特开2012-113269号公报

发明内容

发明欲解决的技术问题

然而,在高压放电灯中,也希望每个灯的光照强度提高。因此,由于在发光部内的辉点处的能量增大,所以需要冷却效率的进一步改善。

本发明是鉴于上述问题而完成的,其目的在于提供一种能够提高冷却效率,并实现光照强度提升的高压放电灯。

用于解决问题的技术手段

本发明的上述目的利用下述构成来实现。

(1)一种高压放电灯,其特征在于,具备:

玻璃制的发光管,所述发光管具有:一对电极对置配置的椭圆体状或球面状的发光管部;和与该发光管部的两端部连接,并沿所述一对电极的长轴线延伸的一对侧管部;

反射器,所述反射器具有:设置在所述长轴线方向的一侧,并且一个所述侧管部突出的开口部;围绕所述长轴线形成的抛物面状的反射面;和形成在所述长轴线方向的另一侧,且另一个所述侧管部能够带间隙地插入的插入孔;以及

绝缘体,所述绝缘体将所述发光管与所述反射器分别固定,

所述绝缘体具有将形成在所述另一个侧管部与所述反射器的插入孔之间的空间与外部连通的开放部,

所述一个侧管部的长度比所述另一个侧管部的长度长。

(2)如(1)所述的高压放电灯,其特征在于,所述一个侧管部被配置在所述灯的死区内。

(3)如上述(1)或(2)所述的高压放电灯,其特征在于,在所述反射器设置有与所述开口部相邻并与所述长轴线方向垂直的平坦面,在所述长轴线方向上,当将从所述发光管部的中心到所述反射器的平坦面为止的距离设为L4时,从所述反射器的平坦面到所述一个侧管部为止的距离L3为0.2×L4≤L3≤1.0×L4。

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