[发明专利]带有偏置定子密封件的真空泵及制造其的方法

权利要求书

1.一种真空泵，包括：

两个半壳定子部件，其在纵向接触面处安装在一起并且限定一个或更多个泵送腔室；

纵向密封件，其用于在所述真空泵送腔室的任一侧上在所述两个半壳定子的所述纵向接触面之间进行密封，所述纵向密封件各自限定其纵向轴线；其中

所述纵向密封件安装在所述半壳定子中的至少一者中的相应沟槽内，所述相应沟槽在所述纵向密封件的至少一部分上比所述纵向密封件更宽、从而允许一些侧向移动，所述纵向密封件包括第一偏置装置，用于朝向所述沟槽的最靠近所述真空泵送腔室的内表面偏置所述纵向密封件的至少一部分，其中，所述纵向密封件还包括端部环状物，所述端部环状物具有形成弓形形状的弯曲侧向臂，

其中，所述纵向密封件包括用于朝向所述沟槽的中心位置偏置所述纵向密封件的端部的第二偏置装置，

其中，所述第二偏置装置包括所述环状物中的第二偏离部，使得所述第二偏离部处的所述纵向密封件接触所述沟槽的外表面，所述第二偏离部关于纵向轴线对称布置在所述环状物的相对侧面上并且可操作成对所述纵向密封件的所述端部部分施加相反的偏置力。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其中，所述第一偏置装置包括纵向密封件的从其纵向轴线偏离的第一偏离部，所述第一偏离部邻接抵靠沟槽的与所述内表面相对的外表面。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其中，所述纵向密封件贯穿所述第一偏离部具有大致恒定的横截面。

4.根据前述权利要求中的任一项所述的真空泵，其中，所述纵向密封件沿着所述纵向密封件的整个长度具有大致恒定的横截面。

5.根据权利要求1或2所述的真空泵，其中，所述第一偏置装置包括远离所述纵向轴线并回到所述纵向轴线的返回弯曲部。

6.根据权利要求1所述的真空泵，其中，所述第一偏置装置包括从所述纵向密封件延伸的突出部。

7.根据权利要求1或2所述的真空泵，其在所述纵向密封件上包括多个第一偏置装置。

8.根据权利要求1或2所述的真空泵，其中，所述沟槽沿着其长度具有大致恒定的横截面。

9.根据权利要求1或2所述的真空泵，其中，所述弯曲侧向臂包括在所述纵向轴线的任一侧上并且关于所述纵向轴线对称的两个向外延伸的部分，所述沟槽包括轴向对准面，以便与所述两个向外延伸的部分的表面的至少一部分邻接，所述向外延伸的部分与所述轴向对准面一起作用，以便朝向预先确定的轴向位置偏置所述纵向密封件的至少一部分。

10.根据权利要求9所述的真空泵，其中，所述纵向密封件包括两个端部环状物，所述两个端部环状物包括朝向所述纵向密封件的任一端部的向外延伸的部分，并且所述沟槽包括朝向所述半壳定子的任一端部的对应轴向对准面，所述纵向密封件安装在所述沟槽内，使得其在所述轴向对准面之间处于张力之下。

11.根据权利要求9所述的真空泵，其中，所述向外延伸的部分可操作成挠曲以允许所述纵向密封件的轴向膨胀和压缩。

12.根据权利要求9所述的真空泵，其中，所述向外延伸的部分中的每一者的横截面彼此大致相同并且与所述纵向密封件的纵向部分的至少90 %的横截面大致相同。

13.根据权利要求9所述的真空泵，其中，所述向外延伸的部分在被布置成用于与所述沟槽的所述轴向对准面接触的对应位置处各自包括尖头。

14.根据权利要求9所述的真空泵，其中，所述环状物安装在沟槽内，所述沟槽包括大致垂直于所述纵向轴线的两个侧向延伸的侧面以及大致平行于所述纵向轴线的两个纵向延伸的侧面。