[发明专利]阀和流体控制装置

说明书

阀具备：第一板(10)，其具有第一贯通孔(100)；第二板(20)，其具有不与第一贯通孔(100)对置的第二贯通孔(210)；阀室(55)，其由第一板(10)和第二板(20)围起而成；以及阀芯(30)，其配置于阀室(55)，并具有不与第一贯通孔(100)对置而与第二贯通孔(200)对置的第三贯通孔(300)，并在第一板(10)与第二板(20)之间上下移动。另外，特征在于，第二贯通孔(210)的第二开口面积小于第三贯通孔(300)的第三开口面积，在主视时，第二贯通孔(210)配置于第三贯通孔(300)内。

技术领域

本发明涉及阀、和具有阀的流体控制装置。

背景技术

以往，在使用压电体的隔膜泵中，公开有由阀芯和两个金属板构成的整流机构。

在专利文献1所记载的构造中，在气流为正方向的情况下，阀芯动作而打开流路，在气流为反方向的情况下，阀芯动作而关闭流路。由此，防止逆流，产生单向的气流。

专利文献1:日本特表2012-528981号公报

然而，在使用专利文献1记载的构造的情况下，由于气流的方向反转，阀芯振动而使阀芯与金属板碰撞。特别是在20kHz以上的高频区域中，碰撞频次多，从而导致阀芯磨损、破损的可能性高。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供防止阀芯的由碰撞、磨损引起的破损的构造。

本发明的阀的特征在于，具备：第一板，其具有第一贯通孔；第二板，其具有不与第一贯通孔对置的第二贯通孔；阀室，其由第一板和第二板围起而成；以及阀芯，其配置于阀室，并具有不与第一贯通孔对置而与第二贯通孔对置的第三贯通孔，并在第一板与第二板之间上下移动。另外，第二贯通孔的第二开口面积小于第三贯通孔的第三开口面积，在主视时，第二贯通孔配置于第三贯通孔内。

在该结构中，在主视时，第二板所具有的第二贯通孔的开口面积小于阀芯具有的第三贯通孔的开口面积，第二贯通孔的边缘不与第三贯通孔的边缘重叠。因此，可抑制第三贯通孔的边缘周边与第二贯通孔的边缘接触而使阀芯在第二贯通孔内往上卷的现象的产生。由此能够抑制第三贯通孔周边处的阀芯的破损等的产生。

另外，优选具备以下特征，即，本发明的阀中的第二贯通孔的开口面的形状具备，使第三贯通孔的开口面的形状在不反转且保持纵横比的状态下缩小而成的相似形状的特征。

在该结构中，即使第三贯通孔与第二贯通孔的位置存在少许误差，也能够减少第三贯通孔与第二贯通孔重叠的可能性。因此，可抑制第三贯通孔的边缘周边与第二贯通孔的边缘接触而使阀芯在第二贯通孔内往上卷的现象的产生。由此，能够抑制第三贯通孔周边处的阀芯的破损等的产生。

另外，优选本发明的阀中的第二贯通孔和第三贯通孔的开口面的形状为圆形状。

在该结构中，在俯视时，第三贯通孔与第二贯通孔的开口面的形状成为不偏向任一方向的相似形状，因此即使第三贯通孔与第二贯通孔的位置存在少许错位，也能够进一步减少第三贯通孔与第二贯通孔重叠的可能性。因此，可进一步抑制阀芯在第二贯通孔内往上卷。

另外，在本发明的阀中，也可以是，第一贯通孔的第一开口面积大于第二贯通孔的第二开口面积。

在该结构中，第一贯通孔的第一开口面积大于第二贯通孔的第二开口面积，因此第一贯通孔不会成为流体的流量、流速的瓶颈。

另外，在本发明的阀中，也可以是，第一贯通孔的第一开口面积小于第三贯通孔的第三开口面积。

在该结构中，第一贯通孔的第一开口面积小于第三贯通孔的第三开口面积，因此第三贯通孔不会成为流体的流量、流速的瓶颈。

另外，本发明的流体控制装置具备：阀；和压电鼓风机，其具有送出流体的排出孔。另外，排出孔与第一贯通孔连通。