[实用新型]一种多组定滑轮组研磨抛光机的上盘结构

说明书

本实用新型的一种多组定滑轮组研磨抛光机的上盘结构，包括高精度研磨盘、研磨盘背板、钢丝、定滑轮、定滑轮承载板、定滑轮固定座、导向杆，研磨盘背板固定在高精度研磨盘上方，定滑轮承载板位于研磨盘背板上方，定滑轮承载板通过其中心轴与位于定滑轮承载板上方的外部横梁连接，研磨盘背板以及定滑轮承载板上通过定滑轮固定座安装有定滑轮，钢丝的一端固定在定滑轮上，另一端轮流通过研磨盘背板上的定滑轮与定滑轮承载板上的定滑轮依次顺序连接。本实用新型的一种多组定滑轮组研磨抛光机的上盘结构，研磨盘的平行度更高，对磨盘上工件进行平行加载，落盘时更加平稳，落盘过程中，工件所受载荷更加均化，能够减少破片和提高磨削质量。

技术领域

本实用新型涉及电子及半导体冷加工领域，更具体的涉及一种多组定滑轮组研磨抛光机的上盘结构。

背景技术

今年来，电子及半导体行业对平面度、平行度的要求越来越高，对设备工作时平稳性更高，在双面研磨抛光时，需要对磨盘上工件进行平行加载，减少破片和提高磨削质量。

发明内容

发明目的：针对上述现有技术提出一种多组定滑轮组研磨抛光机的上盘结构，使得研磨盘的平行度更高，上盘在落盘时更加平稳，落盘过程中，工件所受载荷更加均化。

技术方案：

一种多组定滑轮组研磨抛光机的上盘结构，包括研磨盘、研磨盘背板、钢丝、定滑轮、定滑轮承载板、定滑轮固定座、导向杆，研磨盘背板固定在研磨盘上方，定滑轮承载板位于研磨盘背板上方，定滑轮承载板通过其中心轴与位于定滑轮承载板上方的外部横梁连接，研磨盘背板以及定滑轮承载板上通过定滑轮固定座安装有定滑轮，钢丝的一端固定在定滑轮上，另一端轮流通过研磨盘背板上的定滑轮与定滑轮承载板上的定滑轮依次顺序连接，研磨盘背板与定滑轮承载板之间设置有导向杆，导向杆下端与研磨盘背板固定，上端则穿过定滑轮承载板上的导向孔。

进一步地，导向杆顶部具有螺纹，可设置限位盘，所述限位盘的直径大于导向孔的直径。

有益效果：

本发明的一种多组定滑轮组研磨抛光机的上盘结构，研磨盘的平行度更高，对磨盘上工件进行平行加载，落盘时更加平稳，落盘过程中，工件所受载荷更加均化，能够减少破片和提高磨削质量，导向杆顶部设置限位盘，防止研磨盘背板掉落。

附图说明

图1为多组定滑轮组研磨抛光机的上盘结构立体图；

图2为多组定滑轮组研磨抛光机的上盘结构俯视图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做更进一步的解释。

如图1和图2所示的多组定滑轮组研磨抛光机的上盘结构示意图，包括研磨盘1、研磨盘背板2、钢丝3、定滑轮4、定滑轮承载板5、定滑轮固定座6、导向杆7，研磨盘背板2固定在研磨盘1上方，定滑轮承载板5位于研磨盘背板2上方，定滑轮承载板 5通过其中心轴与位于定滑轮承载板5上方的外部横梁连接，研磨盘背板2以及定滑轮承载板5上通过定滑轮固定座6安装有定滑轮4，钢丝3的一端固定在定滑轮上，另一端轮流通过研磨盘背板2上的定滑轮4与定滑轮承载板5上的定滑轮依次顺序连接，研磨盘背板2与定滑轮承载板5之间设置有导向杆7，导向杆7下端与研磨盘背板2固定，上端则穿过定滑轮承载板上的导向孔。导向杆7顶部具有螺纹，可设置限位盘，所述限位盘的直径大于导向孔的直径，限位盘与定滑轮承载板之间不接触。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。