[实用新型]一种研磨抛光机的上盘研磨液输送机构

说明书

本实用新型的一种研磨抛光机的上盘研磨液输送机构，包括上磨盘、分液口接头、固定法兰、注液口、注液口固定支架、悬挂轴、流液槽、漏液槽、固定柱，输液管；上磨盘与固定法兰之间通过固定柱连接，上磨盘上的分液口接头均布固定在上磨盘上，分液口接头上设有螺纹，输液管螺纹连接漏液槽底部的分液口接头和上磨盘的分液口接头，漏液槽安装在固定法兰上，漏液槽上方布置有流液槽以及注液口，并固定在注液口固定支架上流液槽安装在固定法兰上，在流液槽上设有流液孔，注液口位于流液孔上方，流液孔位于漏液槽上方。本实用新型的通过上磨盘上的均布分液口可以使研磨液均匀注入，可以减小磨盘上工件的破片，提高磨削质量。

技术领域

本实用新型涉及电子及半导体冷加工领域，更具体的涉及一种研磨抛光机的上盘研磨液输送机构。

背景技术

今年来，电子及半导体行业对磨盘上工件的要求越来越高时，为了减小磨盘上工件的破片和提高磨削质量，需要均匀的加入研磨液。

发明内容

发明目的：针对上述现有技术提出一种研磨抛光机的上盘研磨液输送机构，使得研磨液能够均匀注入，减小磨盘上工件的破片，提高磨削质量。

技术方案：

一种研磨抛光机的上盘研磨液输送机构，包括上磨盘、分液口接头、固定法兰、注液口、注液口固定支架、悬挂轴、流液槽、漏液槽、固定柱，输液管；上磨盘与固定法兰之间通过固定柱连接，上磨盘上的分液口接头均布固定在上磨盘上，分液口接头上设有螺纹，输液管螺纹连接漏液槽底部的分液口接头和上磨盘的分液口接头，漏液槽安装在固定法兰上，漏液槽上方布置有流液槽以及注液口，注液口与研磨液外部储液罐通过管路连接，并固定在注液口固定支架上，注液口固定支架与外部支架固定，流液槽安装在固定法兰上，在流液槽上设有流液孔，注液口位于流液孔上方，流液孔位于漏液槽上方，固定法兰中心的悬挂轴与外部横梁，固定支架与悬挂轴通过滚动轴承连接。

进一步地，所述研磨抛光机的上盘研磨液输送机构包括四个漏液槽，每个漏液槽具有8个接头。

有益效果：

本发明的一种研磨抛光机的上盘研磨液输送机构，通过上磨盘上的均布分液口可以使研磨液均匀注入，可以减小磨盘上工件的破片，提高磨削质量；漏液槽上方敞开，利用液体重力注液，压差固定，流量更均匀；漏液槽上设置流液槽，可以避免液体飞溅到其他地方；磨盘旋转运动时，也而不影响系统注液。

附图说明

图1为研磨抛光机的上盘研磨液输送机构示意图；

图2为研磨抛光机的上盘研磨液输送机构立体图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做更进一步的解释。

如图1和图2所示的研磨抛光机的上盘研磨液输送机构，包括上磨盘1、分液口接头2、固定法兰3、注液口4、注液口固定支架5、悬挂轴6、流液槽7、漏液槽8、固定柱9，输液管10；上磨盘1与固定法兰3之间通过固定柱9连接，上磨盘上的分液口接头2均布固定在上磨盘1上，分液口接头2上设有螺纹，输液管10螺纹连接漏液槽8底部的分液口接头2和上磨盘的分液口接头2，漏液槽8安装在固定法兰3上，漏液槽8上方布置有流液槽7以及注液口4，注液口4与研磨液外部储液罐通过管路连接，并固定在注液口固定支架5上，注液口固定支架5与外部支架固定，流液槽7安装在固定法兰3上，在流液槽7上设有流液孔，注液口4位于流液孔上方，流液孔位于漏液槽8上方，研磨抛光机的上盘研磨液输送机构包括四个漏液槽8，每个漏液槽具有8个接头，固定法兰3中心的悬挂轴6与外部横梁，固定支架5与悬挂轴6通过滚动轴承连接。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。