[实用新型]微透镜阵列加工系统

说明书

本实用新型公开了一种微透镜阵列加工系统，包括激光光源、快门、半波片、格兰棱镜、偏振片、光阑、平凹镜、第一平凸镜、第一反射镜、空间光调制器、第二平凸镜、第三平凸镜、分色镜、图像传感器、物镜、位移平台。其中，利用空间光调制器对激光光源提供的激光光束进行整形分束，可以形成多束整形激光光束，有效的克服了传统的单光束激光加工方式效率低下的缺点；同时通过多束整形激光光束并行加工的方式，可以在普通玻璃载玻片的表面烧蚀出弹坑阵列，有效简化了微透镜阵列加工工艺流程，从而降低了生产成本。

技术领域

本实用新型涉及透镜加工技术领域，尤其涉及一种微透镜阵列加工系统。

背景技术

微透镜阵列是一种光学微结构，具有结构单元小、集成度高、光学性能好等优势，能够满足现代科学技术的发展对光学元件所提出的更高性能要求，在光束整形、光存储、光学区通信、三维成像等领域具有广阔应用。

其中，模具表面微透镜结构的加工质量对最终的产品性能具有决定性作用，但是目前微透镜阵列的加工方式仍旧存在加工效率低下的问题，导致加工成本较高。

实用新型内容

本申请提供了一种微透镜阵列加工系统，可以解决现有技术中微透镜阵列的加工方式效率低下的技术问题。

具体的，本实用新型提供的微透镜阵列加工系统包括激光光源、快门、半波片、格兰棱镜、偏振片、光阑、平凹镜、第一平凸镜、第一反射镜、空间光调制器、第二平凸镜、第三平凸镜、分色镜、图像传感器、物镜、位移平台；

所述激光光源用于提供符合预设条件的激光光束；

所述激光光束依次穿过所述快门、所述半波片、所述格兰棱镜、所述偏振片、所述光阑、所述平凹镜及所述第一平凸镜后，经所述第一反射镜反射至所述空间光调制器，所述空间光调制器加载有预设的相位全息图；

所述激光光束经所述空间光调制器反射之后，依次穿过所述第二平凸镜与所述第三平凸镜，并投射在所述分色镜上；

所述分色镜用于将投射在所述分色镜上的激光光束分为第一激光光束与第二激光光束，所述第一激光光束投射于所述图像传感器，所述图像传感器用于输出所述待加工玻璃载玻片对应的观测图像；

所述第二激光光束穿过所述物镜后投射至所述位移平台上固定的待加工玻璃载玻片，以在所述待加工玻璃载玻片上烧蚀出弹坑阵列。

可选的，还包括湿法腐蚀处理装置，所述湿法腐蚀处理装置用于对带有弹坑阵列的玻璃载玻片进行湿法腐蚀处理，以得到微透镜阵列。

可选的，所述平凹镜、第一平凸镜用于对所述激光光束进行扩束，使得投射至所述空间光调制器的激光光束的覆盖区域大小与所述空间光调制器的液晶面板大小相同。

可选的，投射至所述空间光调制器的激光光束与所述空间光调制器反射的激光光束之间的夹角小于10°。

可选的，还包括第一计算设备，所述第一计算设备与所述空间光调制器连接；

所述第一计算设备用于向所述空间光调制器发送所述相位全息图，所述相位全息图包括达曼光栅相位图与菲涅尔透镜相位图，所述达曼光栅相位图与菲涅尔透镜相位图相互叠加。

可选的，所述第二平凸镜与所述第三平凸镜之间还包括虚拟测试面，所述激光光束垂直穿过所述虚拟测试面；

所述空间光调制器与所述第二平凸镜之间的光程、所述第二平凸镜与所述虚拟测试面之间的光程，均与所述第二平凸镜的焦距相同；

所述虚拟测试面与所述第三平凸镜之间的光程、所述第三平凸镜与所述物镜之间的光程，均与所述第三平凸镜的焦距相同。

可选的，还包括第二计算设备，所述图像传感器、所述快门及所述位移平台，均与所述第二计算设备连接。