[实用新型]超高真空用大行程精密压电位移台

说明书

本实用新型公开了一种超高真空用大行程精密压电位移台，包括位移台基座和与位移台基座相对位移的移动台面。所述位移台基座和移动台面之间设有两组交叉滚珠导轨组件，每组交叉滚珠导轨组件均设有两个相互耦合的交叉滚珠导轨，每组交叉滚珠导轨组件的其中一个交叉滚珠导轨与位移台基座固定连接，每组交叉滚珠导轨组件的另一个交叉滚珠导轨与移动台面固定连接。本实用新型公开的超高真空用大行程精密压电位移台，适用于超高真空与超低温环境，在保证行程方向运动的同时，避免在其他方向产生晃动，从而保证纳米级的绝对运动精度。

技术领域

本实用新型属于超高真空和超低温环境精密位移技术领域，具体涉及一种超高真空用大行程精密压电位移台。

背景技术

注意到申请号为201810030486.1，主题名称为“长行程高精度压电位移台及其驱动方法”的发明专利申请，其技术方案包括固定基座(1)、驱动定子(2)、承载滑块(3)、顶盖(4)、导轨(5)、螺纹副(6)、定子安装螺钉(7)、顶盖安装螺钉(8)和导轨安装螺钉(9)；所述导轨(5)通过导轨安装螺钉(9)安装在固定基座(1)上，承载滑块(3)通过滑动接触方式安装在导轨(5)上，驱动定子(2)通过定子安装螺钉(7)安装在承载滑块(3)上，顶盖(4)通过顶盖安装螺钉(8)安装在承载滑块(3)上，螺纹副(6)通过胶粘安装固定在承载滑块(3)上。

可见，常见的压电位移台尽管“采用了具有摩擦力调控功能的定子结构，采用锯齿波驱动，提高了平台的机械输出特性”，但仍然存在尺寸较大、漂移大、需要侧面额外的支撑导轨等缺陷,难以在超高真空和超低温环境中持续稳定运行。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术的状况，克服上述缺陷，提供一种超高真空用大行程精密压电位移台。

本实用新型采用以下技术方案，所述超高真空用大行程精密压电位移台包括位移台基座和与位移台基座相对位移的移动台面，还包括：

所述位移台基座和移动台面之间设有两组交叉滚珠导轨组件，每组交叉滚珠导轨组件均设有两个相互耦合的交叉滚珠导轨，每组交叉滚珠导轨组件的其中一个交叉滚珠导轨与位移台基座固定连接，每组交叉滚珠导轨组件的另一个交叉滚珠导轨与移动台面固定连接，通过位于侧面的紧固螺丝调节交叉滚珠导轨组件相互绞合产生的预紧力；

所述位移台基座和移动台面之间还设有蓝宝石片，所述蓝宝石片与移动台面固定连接；

所述位移台基座的中部具有贯通腔，上述贯通腔内置有浮动滑块、蓝宝石球、铍铜片和至少一个压电陶瓷腿，各个压电陶瓷腿的上部与蓝宝石片相互接触并且滑动配合，各个压电陶瓷腿的下部与浮动滑块粘接，所述蓝宝石球部分内嵌于浮动滑块，所述蓝宝石球部分内嵌于铍铜片，所述铍铜片的两端端部同时与位移台基座固定连接，所述浮动滑块与铍铜片之间具有间隙。

作为上述技术方案的进一步优选，所述交叉滚珠导轨具有V型槽。

作为上述技术方案的进一步优选，所述V型槽的表面具有二硫化钼保护层。

作为上述技术方案的进一步优选，位于所述交叉滚珠导轨的两侧的紧固螺丝用于限位。

作为上述技术方案的进一步优选，所述压电陶瓷腿的数量为2个。

值得一提的是，上述压电陶瓷腿的数量仅为优选实施方案，本领域技术人员应注意，上述压电陶瓷腿的数量还可根据实际需求具体实施为其它合理的具体实施方案。

作为上述技术方案的进一步优选，所述超高真空用大行程精密压电位移台的行程为27mm，所述超高真空用大行程精密压电位移台的整体尺寸为40mm*40mm*12mm。

作为上述技术方案的进一步优选，所述超高真空用大行程精密压电位移台采用无磁材质制成。