[实用新型]一种籽晶杆的可调式稳定装置

权利要求书

1.一种籽晶杆的可调式稳定装置，套装于晶体生长炉内的籽晶杆（1）上，其特征在于：包括套装在籽晶杆（1）上的胀紧套（2），胀紧套（2）外周面上均布有3-6根螺杆（8），每个螺杆（8）上螺纹连接有旋套（5），旋套（5）的顶端设置有滚珠（6），滚珠（6）与圆筒形炉腔内壁接触形成籽晶杆（1）的支撑、稳定结构。

2.根据权利要求1所述的籽晶杆的可调式稳定装置，其特征在于：所述螺杆（8）上螺纹连接有反锁螺母（4），反锁螺母（4）抵在旋套（5）的内侧、靠近胀紧套（2）端。

3.根据权利要求1所述的籽晶杆的可调式稳定装置，其特征在于：各螺杆（8）在胀紧套（2）上的轴向位置位于同一平面上。

4.根据权利要求1所述的籽晶杆的可调式稳定装置，其特征在于：所述可调式稳定装置在籽晶杆上设置有1-3组，各组的胀紧套（2）上均具有锁紧螺栓（3）。

5.根据权利要求1所述的籽晶杆的可调式稳定装置，其特征在于：所述旋套（5）包括主套（51）和限位套（52），主套（51）为三段复合式结构，包括中间隔挡段和两端的中空段，两中空段一端空腔加工有内螺纹，另一端空腔内具有与滚珠（6）适配的球碗（54），限位套内侧与主套固定，带滚珠的外侧，限位套（52）固定在外壁上，滚珠（6）前端伸出限位套（52）具有万向旋转自由度。

6.根据权利要求5所述的籽晶杆的可调式稳定装置，其特征在于：所述球碗（54）与中间隔挡段之间设置有压簧（53）。

7.根据权利要求1所述的籽晶杆的可调式稳定装置，其特征在于：所述炉腔内壁光滑，平整度误差小于0.05mm。

8.根据权利要求1所述的籽晶杆的可调式稳定装置，其特征在于：所述螺杆（8）固定在套筒上，套筒套装在胀紧套（2）上。

9.根据权利要求1-8任一项所述的籽晶杆的可调式稳定装置，其特征在于：所述螺杆（8）外周面上具有凹于螺纹面的平面，平面的宽度小于螺杆（8）直径的三分之一，平面上具有刻度。

10.根据权利要求9所述的籽晶杆的可调式稳定装置，其特征在于：所述籽晶杆（1）、胀紧套（2）、锁紧螺栓（3）、螺杆（8）、旋套（5）、滚珠（6）及反锁螺母（4）为金属材质。