[实用新型]一种带有自修正功能的石英晶体片研磨机

说明书

本实用新型提出的是一种带有自修正功能的石英晶体片研磨机，其结构包括工作台、上研磨盘、下研磨盘、立柱、控制面板；其中下研磨盘的中心设有转轴，转轴安装于工作台的上表面中心，立柱呈倒L型，其底部设于工作台的上表面一侧，其顶部通过气缸连接上研磨盘的转轴，控制面板设置于工作台的上表面另一侧；上研磨盘与下研磨盘的转轴同轴。本实用新型的优点：通过中心齿圈和外齿圈共同驱动游星轮公转和自转，并采用上研磨盘和下研磨盘同时对石英晶体片研磨，效率较高；在研磨过程中自适应修整研磨盘，充分保证研磨盘的平整度，具有设计科学、实用性强、使用方便、修盘高效等优点。

技术领域

本实用新型涉及的是一种带有自修正功能的石英晶体片研磨机，属于石英晶体片加工技术领域。

背景技术

石英晶体片不但是较好的光学材料，而且是重要的压电材料，在加工过程中需要对石英晶体片的表面进行研磨抛光处理，在对石英晶体片进行研磨抛光处理时，通常需要用到研磨机。现有的研磨机一般采用单面研磨和双面研磨两种方式来对石英晶体片表面进行研磨处理，但单面研磨速度慢，效率低；双面研磨方式将石英晶体片的正反两面同时进行研磨处理，虽然能大大提高研磨效率，但是研磨盘经过石英晶体片长时间研磨后，容易造成表面不平整，此时需要将游星轮换下，放入修正轮对研磨盘进行修整，在进行大批量生产时，对研磨盘的磨耗也相应增大，需要频繁对研磨盘进行修整，导致生产效率降低、成本增加。

发明内容

本实用新型提出的是一种带有自修正功能的石英晶体片研磨机，其结构设计合理，使用方便，成本较低，可灵活调节，能有效弥补因研磨盘平面度降低，导致研磨质量降低问题的可调节石英晶体片研磨平整度的修正工艺。本实用新型在基于现有工艺的基础上对研磨盘盘平控制以实现高水平的提升，使用方便，实用性强，必要时可结合采用修正轮修正研磨盘工艺方法。

本实用新型的技术解决方案：一种带有自修正功能的石英晶体片研磨机，其结构包括工作台1、上研磨盘2、下研磨盘3、立柱7、控制面板8；其中下研磨盘3的中心设有转轴，转轴安装于工作台1的上表面中心，立柱7呈倒L型，其底部设于工作台1的上表面一侧，其顶部通过气缸连接上研磨盘2的转轴，控制面板8设置于工作台1的上表面另一侧；上研磨盘2与下研磨盘3的转轴同轴。

优选的，所述的下研磨盘3的上表面包括外齿圈4、中心齿圈5、游星轮6；其中中心齿圈5设于下研磨盘3的旋转中心，外齿圈4设于下研磨盘3的外沿，中心齿圈5和外齿圈4的旋转轴同轴，中心齿圈5与外齿圈4之间等距地设有5个尺寸相同的游星轮6，每个游星轮6与中心齿圈5的外侧和外齿圈4的内侧紧密啮合。

本实用新型的优点：通过设置中心齿圈和外齿圈，共同驱动游星轮公转和自转，并采用上研磨盘和下研磨盘同时对石英晶体片研磨，效率较高；此外通过调整副机转速切换圈数达到在研磨过程中自适应修整研磨盘，充分保证研磨盘的平整度，具有设计科学、实用性强、使用方便、修盘高效等优点。

附图说明

附图1是带有自修正功能的石英晶体片研磨机的结构示意图。

附图2是上、下研磨盘、中心齿圈、外齿圈啮合结构剖面图。

附图3-1、3-2是游星轮正转、逆转俯视示意图。

附图4-1、4-2、4-3是游星轮正转、逆转工作状态下上下研磨盘内侧变形示意图，其中图4-1是工作前形状示意图，图4-2是游星轮正转工作形状示意图，图4-3是游星轮逆转工作形状示意图。

图中1是工作台、2是上研磨盘、3是下研磨盘、4是外齿圈、5是中心齿圈、6是游星轮、7是立柱、8是控制面板。

具体实施方式