[实用新型]一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具

说明书

本实用新型公开了一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，包括C型支架、底座导轨、晶圆承载台、真空吸盘、真空导管、上盖导柱、上盖、水平调节模块、下压螺杆；C型支架包括有支架底座和弯折支架，在C型支架的支架底座上设有两条底座导轨；晶圆承载台底部嵌入底座导轨内，晶圆承载台中部设有真空吸盘，真空导管连接真空吸盘，晶圆承载台上表面四个角上设有上盖导柱；上盖下表面四个角上设有用于上盖导柱插入的导孔；水平调节模块放置在上盖上表面；C型支架的弯折支架前端设有下压螺杆，位于水平调节模块正上方。本实用新型一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，能有效控制光分路器晶圆与盖板之间层胶的均匀性。

技术领域

本实用新型涉及一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具。

背景技术

光分路器作为无源光网络中的核心器件，其作用是实现光功率的分配。目前主流的光分路器主要基于两种技术形式：熔融拉锥型和平面光波导型。平面光波导型光分路器由于其具有器件尺寸小，重复性好，适合于大规模生产等特点越来越占据主导地位。对于平面光波导型光分路器模块而言，其中的光分路器芯片造价昂贵，而将光分路器晶圆加工成颗粒芯片的生产成本同样也比较高，需要通过优化加工工艺来提高加工效率及加工质量，才能满足生产成本的控制。

在此之前的光分路器晶圆贴片工序一直使用的人工操作，由于人为操作的不稳定性，普遍存在贴片胶层的厚度不均匀、胶层出现气泡现象。如果胶层中出现气泡，必然影响光分路器单个颗粒的性能稳定性，必需清洗晶圆上的胶水重新贴片，生产效率低，而且返工所需要的胶水耗材同样也增加了贴片成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，能有效控制光分路器晶圆与盖板之间层胶的均匀性，并且可以避免胶层中产生气泡，提高贴片质量及效率，降低光分路器晶圆生产加工成本。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是设计一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，包括C型支架、底座导轨、晶圆承载台、真空吸盘、真空导管、上盖导柱、上盖、水平调节模块、下压螺杆；所述C型支架包括有支架底座和弯折支架，在C型支架的支架底座上设有两条底座导轨；所述晶圆承载台底部嵌入底座导轨内，晶圆承载台中部设有真空吸盘，真空导管连接真空吸盘，晶圆承载台上表面四个角上设有上盖导柱；所述上盖下表面四个角上设有用于上盖导柱插入的导孔；所述水平调节模块放置在上盖上表面；所述C型支架的弯折支架前端设有下压螺杆，位于水平调节模块正上方。

本实用新型的优点和有益效果在于：本实用新型一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，可适用各种型号规格的光分路器晶圆的贴片加工，可有效控制光分路器晶圆与盖板之间层胶的均匀性，并且可以避免胶层中产生气泡，提高贴片质量及效率，降低光分路器晶圆生产加工成本。

附图说明

图1为C型支架的示意图。

图2为晶圆承载台的示意图。

图3为上盖的示意图。

图4为水平调节模块的示意图。

图5为本实用新型的整体示意图。

其中，C型支架1、底座导轨2、晶圆承载台3、真空吸盘4、真空导管5、上盖导柱6、上盖7、水平调节模块8、下压螺杆9。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

实施例：