[实用新型]一种高灵敏度动态可调的并行波导结构有效
| 申请号： | 201822045601.0 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN208999589U | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 上海纪仑华电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201604 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 波导结构 高灵敏度 表面等离激元 动态可调 狭缝波导 并行 电致伸缩材料 本实用新型 电场作用 电致伸缩 调控单元 动态调节 结构调节 伸缩 波导 狭缝 敏感 传播 应用 | ||
1.一种高灵敏度动态可调的并行波导结构，其特征在于：所述并行波导结构包括高折射率顶板(1)、低折射率介质(2)、金属凸起线(3)、上层金属薄膜(4)、下层金属薄膜(5)、电致伸缩结构(6)、绝缘层(7)、衬底(8)，上层金属薄膜(4)和绝缘层(7)开有条形槽，金属凸起线(3)和电致伸缩结构(6)置于条形槽中，金属凸起线(3)位于电致伸缩结构(6)的上部并与电致伸缩结构(6)连接、且金属凸起线(3)与上层金属薄膜(4)连接，绝缘层(7)和电致伸缩结构(6)置于下层金属薄膜(5)上，高折射率顶板(1)、低折射率介质(2)和金属凸起线(3)构成狭缝波导结构，狭缝波导结构按照水平方向周期排列，金属凸起线(3)、上层金属薄膜(4)、下层金属薄膜(5)、电致伸缩结构(6)、绝缘层(7)构成调控单元，调控单元按照与狭缝波导结构相同的周期水平方向排列。
2.如权利要求1所述的高灵敏度动态可调的并行波导结构，其特征在于：所述电致伸缩结构(6)的截面为矩形。
3.如权利要求2所述的高灵敏度动态可调的并行波导结构，其特征在于：所述金属凸起线(3)的截面为矩形，宽度与电致伸缩结构(6)的宽度相同。
4.如权利要求1所述的高灵敏度动态可调的并行波导结构，其特征在于：所述下层金属薄膜(5)为分离的金属条，电致伸缩结构(6)置于金属条上。
5.如权利要求1所述的高灵敏度动态可调的并行波导结构，其特征在于：所述电致伸缩结构(6)的材料为锆钛酸铅陶瓷材料。
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